一种电路图案检查装置，其从检查对象区域的两端附近形成为行状的检查对象图案的上述检查对象区域的一端供给交流的检查信号，从另一端检测来自上述检查对象图案的信号以检查上述检查对象图案，其特征为具备： 供给机构，具有供给电极用于从上述检查对象图案的检查对象区域的一端将上述检查信号供给上述检查对象图案； 检测机构，具有检测电极用于检测来自上述检查对象图案的信号；以及 移动机构，边使上述供给机构的供给电极与上述检测机构的检测电极从上述检测对象图案离开，边横过移动于上述检查对象区域的两端附近的行状图案部。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种可检查形成在基板上的导电图案是否完好的。
技术介绍
在制造在基板上形成导电图案的电路基板时，有对形成在基板上的导电图案进行是否有断线和短路的检查的必要。以往，作为导电图案的检查方法，例如，如专利文献1所示，公知的是一种使针脚接触在导电图案的两端而从一端侧的针脚对导电图案供给电信号，而从另一端侧的针脚接受该电信号，以进行导电图案的导通测试等的接触式的检查方法(针脚接触方式)。电信号的供电是通过将金属探针立设于全端子上，并从此处对导电图案流动电流而进行的。该针脚接触方式，因为直接使探针接触，因此具有S/N比高的优点。但是，近年来，因为导电图案的高密度化，连接用配线间距也越细密化，50μm以下的间距也已出现。因此，以狭间距且多根数的探针所构成的探针卡的制造成本较高。另外，与此同时，必须制作适用于每一配线图案(每一检查对象)不同的新探针卡。因此，检查成本变高且对电子零件的低成本化造成极大的障碍。另外，微细构造上的探针卡很脆弱，在实际的使用上有必要考虑经常破损的危险。因此，如专利文献2所示，还提出一种方案，使针脚探针直接接触在检查对象的导体图案的一端，并施加含有交流成份的检查信号，在另一端的探针则定位在不接触导体图案且隔开指定间隔的状态，通过电容耦合以检测上述检查信号的接触-非接触并用方式。该接触-非接触并用方式，因为图案线的另一端的探针无如探针般直接接触在图案的必要，因此可粗定位制定位精度。而且，针对多个图案线可使非接触部共享化，因此可削减探针的根数。为此，还可对应导电图案的间隔微细的情况。(专利文献1)日本专利特开昭62-269075号公报(专利文献2)日本专利特开平11-72524号公报然而，上述接触-非接触并用方式中，配设在导电图案的两端部位置的探针和来自探针的检测信号处理等，依据导电性图案的配设间隔而设，因此导电图案的形状为预先决定的种类，若导电图案不同时，则有配合图案制作夹具的必要。另外，上述接触-非接触并用方式中，直接接触在针脚探针的检查对象的导体图案的一端也微细化，而使针脚探针接触的作业变得困难。另外，也无法避免利用针脚探针接触的对检查对象的导体图案的破损的危险性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，解决上述现有技术中的问题，提供一种可以简单的构成且可对应配线图案的改变来检查精细的配线图案的检查装置和电路图案检查方法。作为实现上述目的的一个手段，例如，本专利技术的实施例具有如下的构成。也就是说，从检查对象区域的两端附近形成为行状的检查对象图案的上述检查对象区域的一端供给交流的检查信号，从另一端检测来自上述检查对象图案的信号，以检查上述检查对象图案的电路图案检查装置，其特征为具备供给机构，具有供给电极用以从上述检查对象图案的检查对象区域的一端将上述检查信号供给上述检查对象图案；检测机构，具有检测电极用以检测来自上述检查对象图案的信号；以及移动机构，使上述供给机构的供给电极与上述检测机构的检测电极从上述检测对象图案离开，同时横过移动于上述检查对象区域的两端附近的行状图案部。而且，例如，其特征为上述检查对象图案是在基板上以指定宽度形成大致棒状的导电性图案。另外，例如，其特征为上述检测电极的宽度至少为检查对象图案的两行程度的宽度。另外，例如，其特征为上述检测机构具备第一检测电极，其配设在可于一端部位置通过上述供给电极供给检查信号的检查对象图案的另一端部位置上；以及第二检测电极，其配设在与可在一端部位置通过上述供给电极供给检查信号的检查对象图案邻接的检查对象图案的另一端部位置上。另外，例如，其特征为上述第一检测电极的宽度为检查对象图案的图案宽度以下。另外，例如，其特征为上述第二检测电极的宽度为检查对象图案的图案宽度以下。另外，例如，其特征为上述移动机构是在使上述供给机构的供给电极面以及上述检测机构的检测电极面与上述检查对象图案电容耦合的状态，横过移动于上述检查对象区域的两端附近的行状部分。另外，例如，其特征为还具备判断机构，其在依上述检测机构的检测结果处于指定范围的情况判断检查对象图案为正常，而在检查结果超出指定范围的情况则判断检查对象图案为不良。另外，例如，其特征为还具备第二移动机构，在上述判断机构判断为不良的检查对象图案的两端，使上述供给机构的供给电极与上述检测机构的检测电极移动，使上述供给机构的供给电极或上述检测机构的检测电极的任一者向着另一者沿图案移动；以及位置检测机构，基于上述检测机构的检测结果检测其检测变化位置。另外，例如，其特征为还具备接触机构以使上述供给机构的供给电极或上述检测机构的检测电极的任一另一者接触在检查对象图案。另外，例如，其特征为在通过上述第二移动机构移动的上述供给电极及上述检测电极的至少一者上具备摄影机构。或者，其特征为具备分离控制机构用以定位控制通过上述第二移动机构移动的上述供给电极以及上述检测电极的至少一者、与检查对象图案的距离成为大致一定。另外，例如，其特征为具备分离距离控制机构用以定位控制通过上述移动机构移动的上述供给电极以及上述检测电极的至少一者，与检查对象图案的分离距离成为大致一定。另外，例如，其特征为上述分离处理控制机构具备与上述检测电极或上述供给电极一起移动在上述检测电极或供给电极附近位置的变位计，根据上述变位计的检测结果，以上述检测电极或供给电极与检查对象的分离距离成为大致一定的方式在垂直于上述检查对象的方向进行定位控制。另外，例如，其特征为上述分离处理控制机构，将上述检查对象图案的多个间距间的上述变位计的检测结果的平均变位，作为上述检测电极或上述供给电极与检查对象的分离距离，而在垂直于上述检查对象的方向进行定位控制。另外，例如，具备供给机构，其具有从检查对象图案的两端附近形成为行状的检查对象图案的检查对象区域的一端将检查信号供给上述检查对象图案的供给电极；以及检测机构，具有检测电极用以检测来自上述检查对象图案的信号的电路图案检查装置的电路图案检查方法，其特征为将上述供给机构的供给电极与上述检测机构的检测电极，维持使上述供给机构的供给电极面以及上述检测机构的检测电极面，与上述检测对象图案的表面分离的状态，同时使上述供给电极以及上述检测电极与上述检查对象图案，使横过移动于上述检查对象区域的两端附近的行状图案部，从上述检查对象图案的上述检查对象区域的一端供给交流的检查信号，而从另一端检测来自上述检查对象图案的信号，以检查上述检查对象图案。而且，例如，其特征为上述电路图案是在基板上以指定宽度形成为大致棒状的导电性图案。另外，例如，其特征为上述检测电极的宽度至少是检查对象图案的两行程度的宽度；检测来自与供给检查信号的导电图案邻接的导电图案的信号，可检测邻接的导电图案间的短路。另外，例如，其特征为由上述检测机构的第一检测电极检测从上述检测电极供给检查信号的来自导电图案的信号，便可检测导电图案间的断线；由上述检测机构的第二检测电极检测与从上述检测电极供给检查信号的导电图案邻接的来自导电图案的信号，可检测邻接的导电图案间的短路。另外，例如，其特征为以上述检测机构从成为非检测的检测机构位置，来检测导电图案的大致断线部位的位置。另外，例如，其特征为进而在依上述检测机构的检测结果处于指定范围的情况则判断检查对象图案为正常，而在检查结果超出指定范围的情况则本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：山冈秀嗣，羽森宽，石冈圣悟，
申请(专利权)人：OHT株式会社，
类型：发明
国别省市：
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