【技术实现步骤摘要】
半导体石墨热场用的加热器及其加热方法
本专利技术涉及石墨热场加热
,尤其涉及半导体石墨热场用的加热器及其加热方法。
技术介绍
石墨热场系统包括加热系统和支撑系统,石墨坩埚支撑着石英坩埚,多晶硅装在石英坩埚内,加热至1420度,熔化成硅熔液,进行结晶即单晶生长。目前现有的加热器大多都是用螺栓将加热器本体与密封盖进行连接的,在进行放料和取料时需要经常打开密封盖,经常使用螺栓容易造成螺纹与螺纹孔的损坏,使用螺栓不易拆装。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的半导体石墨热场用的加热器。为了实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:半导体石墨热场用的加热器,包括底板、点火机构、夹持机构、驱动机构、铰接机构,所述底板为水平横向放置的矩形板状,所述底板的底面四个拐角处均设有支撑柱,位于支撑柱之间在底板底面设有点火机构;所述底板顶面设有外筒,所述外筒内顶部设有坩埚,位于坩埚的底部两侧在外筒上设有一对夹持机构,且所述坩埚通过驱动机构与外筒活动连接,所述外筒的顶面敞口处设有外盖,且所述外盖通过铰接机构与外筒活动铰接,所述外盖底面设有坩埚盖。优选地,所述点火机构包括限位筒、点火板、喷火筒、铰接缸,所述底板的顶面中部设有限位筒,位于限位筒的底部端口下方在底板底面设有点火板,所述点火板顶面设有喷火筒;所述点火板的底面四个拐角处均设有第一铰接座,所述第一铰接座与铰接缸的铰接杆端部活动铰接;所述支撑柱内侧面底部均设有第二铰接座,所述第二铰接座与铰接缸底部 ...
【技术保护点】
1.半导体石墨热场用的加热器,包括底板(1)、点火机构、夹持机构、驱动机构、铰接机构,其特征在于:所述底板(1)为水平横向放置的矩形板状,所述底板(1)的底面四个拐角处均设有支撑柱(11),位于支撑柱(11)之间在底板(1)底面设有点火机构;所述底板(1)顶面设有外筒(2),所述外筒(2)内顶部设有坩埚(3),位于坩埚(3)的底部两侧在外筒(2)上设有一对夹持机构,且所述坩埚(3)通过驱动机构与外筒(2)活动连接,所述外筒(2)的顶面敞口处设有外盖(27),且所述外盖(27)通过铰接机构与外筒(2)活动铰接,所述外盖(27)底面设有坩埚盖(29)。/n
【技术特征摘要】
1.半导体石墨热场用的加热器,包括底板(1)、点火机构、夹持机构、驱动机构、铰接机构,其特征在于:所述底板(1)为水平横向放置的矩形板状,所述底板(1)的底面四个拐角处均设有支撑柱(11),位于支撑柱(11)之间在底板(1)底面设有点火机构;所述底板(1)顶面设有外筒(2),所述外筒(2)内顶部设有坩埚(3),位于坩埚(3)的底部两侧在外筒(2)上设有一对夹持机构,且所述坩埚(3)通过驱动机构与外筒(2)活动连接,所述外筒(2)的顶面敞口处设有外盖(27),且所述外盖(27)通过铰接机构与外筒(2)活动铰接,所述外盖(27)底面设有坩埚盖(29)。
2.根据权利要求1所述的半导体石墨热场用的加热器,其特征在于:所述点火机构包括限位筒(12)、点火板(13)、喷火筒(14)、铰接缸(17),所述底板(1)的顶面中部设有限位筒(12),位于限位筒(12)的底部端口下方在底板(1)底面设有点火板(13),所述点火板(13)顶面设有喷火筒(14);所述点火板(13)的底面四个拐角处均设有第一铰接座,所述第一铰接座与铰接缸(17)的铰接杆端部活动铰接;所述支撑柱(11)内侧面底部均设有第二铰接座,所述第二铰接座与铰接缸(17)底部活动铰接。
3.根据权利要求2所述的半导体石墨热场用的加热器,其特征在于:所述点火板(13)的底面一端设有燃气筒(15),且所述燃气筒(15)顶端位于喷火筒(14)内底部,所述燃气筒(15)底端通过燃气管与外接燃气罐连通;所述点火板(13)的底面另一端设有助燃筒(16),且所述助燃筒(16)顶端位于喷火筒(14)内底部,所述助燃筒(16)底端通过气管与外接风机的出气端口连通。
4.根据权利要求1所述的半导体石墨热场用的加热器,其特征在于:所述夹持机构包括弧形板(21)、夹持伸缩缸(22),位于外筒(1)内在坩埚(3)底部设有一对弧形板(21),位于弧形板(21)对应的位置在外筒(3)两侧中部凹陷有夹持通孔,所述夹持通孔内安装有夹持伸缩缸(22),所述夹持伸缩缸(22)的伸缩杆端部设有夹持连块,所述夹持连块与弧形板(21)的外侧面中部固接。
5.根据权利要求4所述的半导体石墨热场用的加热器,其特征在于:所述弧形板(21)的外侧面四个拐角处均设有第一固定块,位于第一固定块对应的位置在外筒(3)外侧面均设有夹持滑筒(23),所述夹持滑筒(23)内均插设有夹持滑杆(24),所述夹持滑杆(24)里端与对应的第一固定块固接,所述夹持滑杆(24)外端设有第二固定块,且位于第一固定块与夹持滑筒(23)之间在夹持滑杆(23)上套设有夹持弹簧。
6.根据权利要求1所述的半导体石墨热场用的加热器,其特征在于:所述驱动机构包括固定板(31)、驱动电机(36)、驱动皮带(38),所述坩埚(3)的两侧面设有一对固定板(31),每块固定板(31)的外侧面中部均设有加固板(32),其中,一块加固板(32)的外侧面中部设有从动...
【专利技术属性】
技术研发人员:柴利春,张培林,武建军,张作文,王志辉,
申请(专利权)人:大同新成新材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:山西;14
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