下载半导体石墨热场用的加热器及其加热方法的技术资料

文档序号:26338057

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本发明公开了半导体石墨热场用的加热器,包括底板、点火机构、夹持机构、驱动机构、铰接机构,底板为水平横向放置的矩形板状,底板的底面四个拐角处均设有支撑柱,位于支撑柱之间在底板底面设有点火机构;底板顶面设有外筒,外筒内顶部设有坩埚,位于坩埚的底...
该专利属于大同新成新材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大同新成新材料股份有限公司授权不得商用。

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