误差因子获取器件制造技术

通过减少校准配件连接和分离的次数来校准ＤＵＴ（被测器件）电路参数的测量系统是可能的。一种误差因子获取器件包括：第一校准器（１００），连接到端口（１８，２８），并且具有对网络分析器的端口（１８，２８）实现开路、短路和标准负载或使端口（１８，２８）短路的第一状态实现单元（１２０）；以及第二校准器（２００），连接到第一校准器（１００）和ＤＵＴ４００，并且具有对端口（１８，２８）实现开路、短路和标准负载的第二状态实现单元（２２０）。第一校准器（１００）包括将端口（１８，２８）连接到第一状态实现单元（１２０）或第二校准器（２００）的第一连接单元（１１０ａ，１１０ｂ），同时第二校准器（２００）包括将端口（１８，２８）连接到第二状态实现单元（２２０）或ＤＵＴ４００的第二连接单元（２１０）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对被测器件计算和测量电路参数的基础上对误差因子的测量。
技术介绍
通常，对被测器件(DUT)中进行电路参数(诸如S参数)测量(例如，参见专利文献1(日本公开专利公报(Kokai)号.H11-38054))。现在参照图16对根据现有技术被测器件(DUT)的电路参数的测量方法进行描述。信号从信号源130通过DUT 400传送到接收单元140。该信号由接收单元140接收。通过对由接收单元140所接收到的信号进行测量，就有可能获得DUT400的S参数和频率特征。在该情形中，由于诸如信号源130和DUT 400等的测量系统之间的失谐，在测量时会产生测量系统误差。测量系统误差包括，例如Ed由电桥的方向性所致的误差，Er由频率跟踪所致的误差，还有Es由源匹配所致的误差。图17示出了与信号源130相关联的信号流图表。RF IN表示从信号源130输入到DUT 400等的信号，S11m表示基于从DUT 400等反射的信号而获得的DUT 400等的S参数，以及S11a表示没有测量系统误差的DUT 400等的真实S参数。在该情形中，例如，根据专利文献1，就有可能修正误差。以该方式所作出的修正可称之为校准。对校准将给出简短的描述。校准配件连接到信号源300以实现三种类型的状态开路、短路和负载(标准负载Z0)。在这些状态中，从校准配件所反射的信号由电桥所获得，以获取对应于三种状态类型的三种类型的S参数(S11m)。从三种类型的S参数中获得三种类型的变量Ed、Er和Es。但是，根据上述的现有技术，需要将三种类型的校准配件开路、短路和负载(标准负载Z0)连接到信号源130或从其分离。对于一种类型的校准配件，连接/分离的操作次数是两次。结果，三种类型的校准配件的连接/分离操作次数是六。在校准之后，这样就会产生一个问题校准配件的连接/分离次数增加，从而导致复杂的操作。考虑前述的问题，本专利技术一目的是以较少的校准配件的连接/分离次数来校准被测器件的电路参数的测量系统。
技术实现思路
根据本专利技术一方面，获取被测器件以及具有信号输出单元、输出来自于信号输出单元的信号的输出端口和接收信号的接收端口的网络分析器之间的误差因子的误差因子获取器件，包括包含有对于网络分析器的输出端口和接收端口可实现第一状态的第一状态实现单元、并且连接到输出端口和接收端口的第一校准装置；包含有对于网络分析器的输出端口和接收端口可实现第二状态的第二状态实现单元、并且连接到第一校准装置和被测器件的第二校准装置，其中第一校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第一状态实现单元或第二校准装置的第一连接单元；并且第二校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第二状态实现单元或被测器件的第二连接单元。根据如此构建的本专利技术，提供了一种获取被测器件和网络分析器之间的误差因子的误差因子获取器件。网络分析器具有信号输出单元、输出来自于信号输出单元的信号的输出端口以及接收该信号的接收端口。误差因子获取器件包括第一校准装置和第二校准装置。第一校准装置包括对网络分析器的输出端口和接收端口实现第一状态的第一状态实现单元，并且被连接到输出端口和接收端口。第二校准装置包括对网络分析器的输出端口和接收端口实现第二状态的第二状态实现单元，并且被连接到第一校准装置和被测器件。第一校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第一状态实现单元或第二校准装置的第一连接单元。第二校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第二状态实现单元或被测器件的第二连接单元。根据本专利技术的误差因子获取器件，第一状态实现单元可包括实现开路状态的开路校准工具；实现短路状态的短路校准工具；实现标准负载状态的标准负载校准工具；使输出端口和接收端口短路的短路单元；将开路校准工具、短路校准工具、标准负载工具和短路单元中任意一个连接到输出端口的输出端口连接单元；以及将开路校准工具、短路校准工具、标准负载工具和短路单元中任意一个连接到接收端口的接收端口连接单元。根据本专利技术的误差因子获取器件，第二状态实现单元可包括实现开路状态的开路校准工具；实现短路状态的短路校准工具；实现标准负载状态的标准负载校准工具；将开路校准工具、短路校准工具、和标准负载工具中任意一个连接到网络分析器的校准工具连接单元。根据本专利技术的误差因子获取器件，被测器件的端口数量可能大于网络分析器的端口的数量，并且误差因子获取器件可包括将第一校准装置的一端口连接到第二校准装置的任意一端口的支路连接单元。根据本专利技术的误差因子获取器件，被测器件可能包括晶片以及与该晶片相接触的晶片探针，并且可连接到第二校准装置。本专利技术的另一方面是通过使用误差因子获取器件来获得误差因子的误差因子获取方法，该误差因子获取器件获得被测器件和具有信号输出单元、输出来自于信号输出单元的信号的输出端口以及接收该信号的接收端口的网络分析器之间的误差因子，包括(i)包括有对网络分析器的输出端口和接收端口实现第一状态的第一状态实现单元、并且被连接到输出端口和接收端口的第一校准装置；以及(ii)包括有对网络分析器的输出端口和接收端口实现第二状态的第二状态实现单元、并且被连接到第一校准装置和被测器件的第二校准装置；其中，(iii)第一校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第一状态实现单元或第二校准装置的第一连接单元；以及(iv)第二校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第二状态实现单元或被测器件的第二连接单元，该误差因子获取方法包括基于对网络分析器连接到第一状态实现单元之后，从输出端口输出之前的信号、从第一状态实现单元反射回到输出端口的信号以及由接收端口所接收到的信号测量预定参数来获取网络分析器和第一校准装置之间第一误差因子的第一误差因子获取步骤，以及基于网络分析器连接到第二状态实现单元之后，从输出端口输出之前的信号以及从第二状态实现单元反射回到输出端口的信号来获取被测器件和第一校准装置之间第二误差因子的第二误差因子获取步骤。本专利技术的另一方面是通过使用误差因子获取器件来获得误差因子的误差因子获取方法，该误差因子获取器件获得被测器件和具有信号输出单元、输出来自于信号输出单元的信号的输出端口以及接收该信号的接收端口的网络分析器之间的误差因子，包括(i)包括有对网络分析器的输出端口和接收端口实现第一状态的第一状态实现单元、并且被连接到输出端口和接收端口的第一校准装置；以及(ii)包括有对网络分析器的输出端口和接收端口实现第二状态的第二状态实现单元、并且被连接到第一校准装置和被测器件的第二校准装置；其中，(iii)第一校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第一状态实现单元或第二校准装置的第一连接单元；以及(iv)第二校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第二状态实现单元或被测器件的第二连接单元，以及(v)被测器件包括一晶片和与该晶片相接触的晶片探针，并且被连接到第二校准装置，该误差因子获取方法包括基于对网络分析器连接到第一状态实现单元之后，从输出端口输出之前的信号、从第一状态实现单元反射回到输出端口的信号以及由接收端口所接收到的信号测量预定参数来获取网络分析器和第一校准装置之间第一误差因子的第一误差因子获取步骤；基于网络分析器连接到第二状态实现单元之后，从输出端口输出之前的信号以及从第二状态实现单元反射回到输出端口的信号来获取被测器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种获取被测器件和网络分析器之间误差因子的误差因子获取器件，所述网络分析器具有信号输出单元、输出所述信号输出单元所提供信号的输出端口、以及接收所述信号的接收端口，所述误差因子获取器件包括：第一校准装置，包括对网络分析器的输出端口和接收端口实现第一状态的第一状态实现单元，并且连接到所述输出端口和接收端口；以及第二校准装置，包括对网络分析器的输出端口和接收端口实现第二状态的第二状态实现单元，并且连接到所述第一校准装置和所述被测器件，其中：所述第一校准装置包括将所述输出端口和接收端口连接到所述第一状态实现单元或所述第二校准装置的第一连接单元；以及所述第二校准装置包括将所述输出端口和接收端口连接到所述第二状态实现单元或所述被测器件的第二连接单元。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：春田将人，佐藤浩行，田边武，中山喜和，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[]