【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于探针卡等电气讯号连接用变换坐标装置，尤其是有关于从 测点，有效将配线配置于探针卡基板之电气讯号连接用变换坐标装置。
技术介绍
在LSI等电子设备制程上，都在半导体晶圆上所形成的复数半导体芯片检査电 路上使用探针卡；关于探针卡方面，以往本案专利技术人已提议出使用垂直式探针的各 种探针卡；这种探针卡，是在晶圆状态下，让垂直式探针接触排列于半导体芯片上 的复数电路端子(焊垫)，经过汇总后即可测量通电的半导体芯片；这种探针卡的 现有例则有，例如特开平7-318586号公报、或特开2003-75503号公报所示内容。在此，将特开平7-318586号公报所示之探针卡，视为现有例后做成如图14所 示；此探针卡上的复数探针3，被视为印刷电路板6印刷配线的一部份，而被焊锡 于Probe Land部7上；前述Probe Land部7被连接到金属线安装部8a;另一方面， 尾销(terminal pin)2，则用印刷配线连接金属线安装部8b;此印刷电路板l是以包含 植设尾销2的半导体器件种类所共通设计而成，各种类的不同之处在于，探针3的 配置、金属线安装部8a与8...
【技术保护点】
一种电气讯号连接用变换坐标装置，其特征在于包括：接触与导通晶圆焊垫以狭隘间距线排列的探针输入端和探针输出端；将探针输出端在略呈平面上，呈现出面排列于稀疏间距上的手段；交叉接触探针输出端及变换配线输入端以进行导通的ｙ向配线群；以及交叉与导通ｙ向配线群输出端的ｘ向配线群。
【技术特征摘要】
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