一种浇铸退火炉用热导油热量回收交换装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种浇铸退火炉用热导油热量回收交换装置，包括换热箱主体，所述换热箱主体上端设有封盖，且换热箱主体外壁设有进油管和出油管，所述封盖上端设有水泵，且封盖下端设有若干层换热管，并且不同换热管之间设有连接管，所述换热管为螺旋状，且换热管外壁设有若干个换热管支撑杆，所述换热箱主体内部设有支撑座，且支撑座上端为圆片状。该浇铸退火炉用热导油热量回收交换装置内部设有多层热交换管，可以增加与油的接触时间和距离，提高热交换的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种浇铸退火炉用热导油热量回收交换装置
本技术涉及浇铸退火炉
，具体为一种浇铸退火炉用热导油热量回收交换装置。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。现有的浇铸退火炉用热导油在热量回收的过程中，由于与油接触时间较短，这样在使用的过程中，油中的热量交换时间比较短，这样会造成热量的大量浪费，降低换热的效果。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种浇铸退火炉用热导油热量回收交换装置，以解决上述
技术介绍
提出的目前市场上浇铸退火炉用热导油在热量回收的过程中，由于与油接触时间较短，这样在使用的过程中，油中的热量交换时间比较短，这样会造成热量的大量浪费，降低换热的效果的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种浇铸退火炉用热导油热量回收交换装置，包括换热箱主体，所述换热箱主体上端设有封盖，且换热箱主体外壁设有进油管和出油管，所述封盖上端设有水泵，且封盖下端设有若干层换热管，并且不同换热管之间设有连接管，所述换热管为螺旋状，且换热管外壁设有若干个换热管支撑杆，所述换热箱主体内部设有支撑座，且支撑座上端为圆片状。优选的，所述水泵上端设有进水管，且水泵与换热管的一端相连接。优选的，所述封盖外壁设有出水管，且出水管的一端与换热管相连接。优选的，所述换热管至少设有4层，且换热管与进油管之间的间距小于换热管与出油管之间的间距。优选的，所述进油管在换热箱主体上的高度低于出油管在换热箱主体上的高度。优选的，所述换热管支撑杆至少设有8个，且换热管支撑杆均匀分布在换热管上。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该浇铸退火炉用热导油热量回收交换装置内部设有多层热交换管，可以增加与油的接触时间和距离，提高热交换的效果。该装置的水泵起到输送水的作用，可以将水导入到换热管内，而且换热管内部的水可以通过出水管排出，而换热管设有多层，可以增加水等介质的流动距离，提高热交换的时间和接触距离，提高热交换的效果，而换热管支撑杆可以将不同的换热管固定连接在一起，使不同的换热管可以连接在一起，避免单个换热管出现歪斜时换热管连接处出现泄漏的情况。附图说明图1为本技术一种浇铸退火炉用热导油热量回收交换装置结构示意图；图2为本技术一种浇铸退火炉用热导油热量回收交换装置换热管俯视图；图3为本技术一种浇铸退火炉用热导油热量回收交换装置支撑座结构示意图。图中：1、进水管，2、水泵，3、封盖，4、换热箱主体，5、换热管，6、连接管，7、进油管，8、支撑座，9、出水管，10、出油管，11、换热管支撑杆。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种浇铸退火炉用热导油热量回收交换装置，包括换热箱主体4，换热箱主体4上端设有封盖3，且换热箱主体4外壁设有进油管7和出油管10，进油管7在换热箱主体4上的高度低于出油管10在换热箱主体4上的高度，此结构的进油管7位置比较低，这样进油管7可以将油导入到换热箱主体4的底部，使换热箱主体4内部的油自下而上进行上升，与换热管5内部水流动方向为相反，提高热量的交换效果，封盖3上端设有水泵2，且封盖3下端设有若干层换热管5，并且不同换热管5之间设有连接管6，水泵2上端设有进水管1，且水泵2与换热管5的一端相连接，此结构的水泵2可以通过进水管1将水导入到换热管5内，起到输送介质的作用，封盖3外壁设有出水管9，且出水管9的一端与换热管5相连接，此结构的封盖3上的出水管9可以与换热管5相连接，这样换热管5内部的水可以通过出水管9排出，换热管5为螺旋状，且换热管5外壁设有若干个换热管支撑杆11，换热管5至少设有4层，且换热管5与进油管7之间的间距小于换热管5与出油管10之间的间距，此结构的换热管5可以增加与热导油的接触距离和时间，提高热交换的效果，同时换热管5靠近进油管7的位置，可以尽量接触到更多油，换热管支撑杆11至少设有8个，且换热管支撑杆11均匀分布在换热管5上，此结构的换热管支撑杆11可以将不同的换热管5支撑起来，避免单层的换热管5出现歪斜的情况，而封盖3在朝上移动的时候，可以将全部的换热管5一起从换热箱主体4内部移出，方便对换热管5进行维护，换热箱主体4内部设有支撑座8，且支撑座8上端为圆片状。工作原理：在使用该浇铸退火炉用热导油热量回收交换装置时，首先将装置放置在合适的地方，然后通过进油管7将导热油导入到换热箱主体4内，而换热箱主体4内部多余的油可以通过出油管10排出，同时启动封盖3上的水泵2，水泵2通过进水管1将水导入到换热管5内，而换热管5内部的水通过连接管6流到其他的换热管5内，最后换热管5内部的水通过出水管9排出，这样通过导热油与换热管5内部的水进行热交换实现热量的回收工作，而且可以一次性将封盖3、换热管5和出水管9从换热箱主体4内部移出，而且支撑座8可以将换热管5下方支撑住，避免换热管5发生歪斜晃动的情况，防止换热管5在晃动的时候，换热管5与连接管6的连接处出现开裂的情况，减少泄漏的情况发生，从而完成一系列工作。尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种浇铸退火炉用热导油热量回收交换装置，包括换热箱主体（4），其特征在于：所述换热箱主体（4）上端设有封盖（3），且换热箱主体（4）外壁设有进油管（7）和出油管（10），所述封盖（3）上端设有水泵（2），且封盖（3）下端设有若干层换热管（5），并且不同换热管（5）之间设有连接管（6），所述换热管（5）为螺旋状，且换热管（5）外壁设有若干个换热管支撑杆（11），所述换热箱主体（4）内部设有支撑座（8），且支撑座（8）上端为圆片状。/n

【技术特征摘要】
1.一种浇铸退火炉用热导油热量回收交换装置，包括换热箱主体（4），其特征在于：所述换热箱主体（4）上端设有封盖（3），且换热箱主体（4）外壁设有进油管（7）和出油管（10），所述封盖（3）上端设有水泵（2），且封盖（3）下端设有若干层换热管（5），并且不同换热管（5）之间设有连接管（6），所述换热管（5）为螺旋状，且换热管（5）外壁设有若干个换热管支撑杆（11），所述换热箱主体（4）内部设有支撑座（8），且支撑座（8）上端为圆片状。


2.根据权利要求1所述的一种浇铸退火炉用热导油热量回收交换装置，其特征在于：所述水泵（2）上端设有进水管（1），且水泵（2）与换热管（5）的一端相连接。


3.根据权利要求1所述的一种浇铸退火炉用热导油热量回...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈小伟，赵忠利，
申请(专利权)人：分宜九一机械制造有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36