测试装置以及测试电路卡制造方法及图纸

提供一种测试装置，其配置有：激励器，其向被测试器件输出测试信号；第一ＦＥＴ开关，其切换激励器和被测试器件是否连接；比较器，其经第一ＦＥＴ开关接收被测试器件的输出信号，比较输出信号的电压和预先规定的参照电压；参照电压输入部，其把参照电压输入比较器；第二ＦＥＴ开关，其设置在参照电压输入部和比较器之间；虚拟电阻，其一端与比较器及第二ＦＥＴ开关的接点连接，另一端与规定的电压连接；激励器的输出电阻及第一ＦＥＴ开关的接通电阻的电阻比与虚拟电阻及第二ＦＥＴ开关的接通电阻的电阻比大致相等。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及测试装置以及测试电路卡。本专利技术尤其涉及测试半导体电路等的被测试 器件的测试装置，以及该测试装置中使用的测试电路卡。本专利技术申请与下述日本专利申 请相关联。对于认可纳入参照文献的指定国，可参照下述申请中所述的内容，纳入本申 请，并作为本申请的一部分。申请号专利申请2005—361919，申请日2005年12月15日。
技术介绍
作为测试半导体电路等被测试器件的测试装置，已知的有配置了与被测试器件进行 信号收发的测试电路卡的装置。测试电路卡设置在测试装置的主体部和被测试器件之 间，把测试装置提供的测试信号输入被测试器件，接收被测试器件的输出信号。图4是现有的测试电路卡300的构成例示图。测试电路卡300具有激励器302、比 较器304、 FET开关312、传输路径314、以及参照电压输入部316。激励器302接收测试装置的主体部提供的测试信号，输入被测试器件DUT中。激 励器302和被测试器件DUT经FET开关312以及传输路径314彼此连接。激励器302 具有电平切换开关306、启用开关308、以及输出电阻310。比较器304接收被测试器件DUT的输出信号，比较该本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试被测试器件的测试装置，其特征在于，配置有：　激励器，其向前述被测试器件输出测试信号；　第一ＦＥＴ开关，其切换前述激励器和前述被测试器件是否连接；　比较器，其经前述第一ＦＥＴ开关接收前述被测试器件的输出信号，比较前述输出信号的电压和预先规定的参照电压；　参照电压输入部，其把前述参照电压输入前述比较器；　第二ＦＥＴ开关，其设置在前述参照电压输入部和前述比较器之间；　虚拟电阻，其一端与前述比较器及前述第二ＦＥＴ开关的接点连接，另一端与规定的电压连接；　前述激励器的输出电阻及前述第一ＦＥＴ开关的接通电阻的电阻比与前述虚拟电阻及前述第二ＦＥＴ开关的接通电阻的电阻比大致相等。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本直木，关野隆，
申请(专利权)人：爱德万测试株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]