加速度计高频振动幅相特性测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种外差激光测量加速度计高频振动幅相特性的测量装置，主要包括：外差式激光干涉仪、压电式高频振动台激励系统和数据采集处理系统等；外差式激光干涉仪通过组合透镜聚焦，只需漫反射光就可进行测量，减少了平面反射镜的误差；高频振动台采用压电晶体叠堆而成，它包括至少４片压电晶体片、隔振胶片、台体基座和质量块；隔振胶片设置在台体基座上，压电晶体片依次叠加在隔振胶片上，相邻晶体片相接面正极与正极相接，负极与负极相接。本实用新型专利技术能在（２～５０）ｋＨｚ的频率范围及（１～５００）ｎｍ的位移范围内，实现加速度计复灵敏度的幅值和相位移频率响应及线性度的准确测量。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种加速度计高频振动幅相特性测量装置包括：外差式激光干涉仪、压电式高频振动台激励系统、数据采集处理系统和测振系统；所述激励系统包括信号源、功率放大器、可变电感箱、可变电容箱，所述数据采集处理系统包括数据采集卡、相关软件及计算机，所述测振系统包括传感器和适配器，信号源产生高频信号，经功率放大器放大后，再经可变电感箱和可变电容箱的阻抗匹配后驱动压电高频振动台输出正弦振动信号；数据采集卡对外差激光干涉仪检测到的振动台台面的振动信号，以及安装在振动台台面上被测传感器经适配器放大后的输出信号进行采集、Ａ／Ｄ转换，最终由应用软件完成数学计算、信号分析及显示功能；其特征在于，所述压电式高频振动台包括一运动质量块、至少４片的压电晶体片、隔振胶片和台体基座，隔振胶片设置在台体基座上，压电晶体片依次叠加在隔振胶片上，相邻晶体片相接面正极与正极相接，负极与负极相接；正极与激励电压的输入端口的中心相连，负极与激励电压的输入端口的外端相连；运动质量块置放在所述压电晶体片叠堆的上面，该运动质量块下方或内部设置有内装传感器，所述被测传感器安装在该运动质量块上表面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：于梅，左爱斌，于仲敏，孙桥，杨丽峰，刘爱东，马明德，
申请(专利权)人：中国计量科学研究院，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]