下载加速度计高频振动幅相特性测量装置的技术资料

文档序号:2626747

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本实用新型公开了一种外差激光测量加速度计高频振动幅相特性的测量装置,主要包括:外差式激光干涉仪、压电式高频振动台激励系统和数据采集处理系统等;外差式激光干涉仪通过组合透镜聚焦,只需漫反射光就可进行测量,减少了平面反射镜的误差;高频振动台采用...
该专利属于中国计量科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量科学研究院授权不得商用。

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