高载微构件动态特性测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术高载微构件动态特性测试装置，是属于微机电系统中动态测试装置领域。一种高载微构件动态特性测试装置，由高速转台、微结构激励、微结构夹持、光学振动测试装置、光纤旋转接头组成。高速转台的一端是转臂，另一端为轴套形状。真空室通过螺栓安装在高速转台的转臂上，光纤旋转接头安装在高速转台轴套中；隔振泡沫、减振质量、压电激振器、微构件、光纤探头夹持装置和光纤探测头均安装在真空室内。使用该发明专利技术可以测试常态、动态下结构的动态特性，便于分析研究。其结构简单、易于调试。扩充了仪器的功能，测试精度较高；可用它对微加速度传感器进行标定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术高载微构件动态特性测试装置，属于微机电系统中动态测试装置领域。
技术介绍
微机电系统(Micro Electro Mechanical System，简称为MEMS)常采用微加工技术制造的微机械加速度计，这种微机械加速度计广泛应用在航空航天领域、汽车气囊以及导弹和智能化炮弹的精确控制上，其测量范围从数微g到数十万g。高g值(g为重力加速度单位)微机械加速度计通常工作在数千g乃至上万g的环境，在如此高载荷工作条件下，微机械加速度计灵敏度对所使用设备有着至关重要的影响，且理论分析表明，微机械加速度计的核心部件——微惯性元件的动态特性也会由于外部惯性载荷的作用而发生改变，但对于高载条件下，对微机械加速度计中微构件动态性能影响的研究还停留在理论阶段。ChristianRembe等在《Optical Measurement Methods to Study Dynamic Behavior in MEMS》一文中介绍了目前常用的微机电系统动态测试技术，如频闪显微干涉技术、计算机微视觉技术、激光多普勒测振技术等。但这些测试系统，目前还仅仅是对常态下微结构进行测试，测试系统对环境要求本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高载微构件动态特性测试装置，由高速转台、微结构激励、微结构夹持、光学振动测试装置、光纤旋转接头组成；其特征是：高速转台（１）的一端是转臂，另一端为轴套形状；真空室（２）通过螺栓安装在高速转台（１）的转臂上，光纤旋转接头（１０）安装在高速转台（１）的轴套中；隔振泡沫（３）、减振质量（４）、压电激振器（５）、微构件（６）、光纤探头夹持装置（７）和光纤探测头（８）均安装在真空室（２）内，在真空室（２）内的隔振泡沫（３）一面通过胶粘接在高速转台（１）上，另一面通过胶粘接减振质量（４），压电激振器（５）通过胶粘接在减振质量块（４）上，待测微构件（６）通过胶粘接在压电激振器（５）上；光纤探头夹持装置（...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓东，王涛，王立鼎，尹东，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：91[中国|大连]