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本发明高载微构件动态特性测试装置，是属于微机电系统中动态测试装置领域。一种高载微构件动态特性测试装置，由高速转台、微结构激励、微结构夹持、光学振动测试装置、光纤旋转接头组成。高速转台的一端是转臂，另一端为轴套形状。真空室通过螺栓安装在高速转...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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