【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及量块测量装置，具体为一种基于双波长移相干涉的高精度量块自动测量装置。
技术介绍
1、在现代工业生产与科学研究中，长度计量是保证产品质量和技术精度的关键环节，量块作为长度计量领域的重要实物基准，其测量精度直接关系到整个计量体系的准确性和可靠性。从精密机械加工到高端光学仪器制造，从航空航天零部件生产到半导体芯片制程，对量块高精度测量的需求愈发迫切。
2、而传统的量块测量方法，如接触式测量，不仅效率低、易受人为因素干扰，而且在测量精度上已难以满足微米甚至纳米级的测量要求。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种基于双波长移相干涉的高精度量块自动测量装置，以解决上述
技术介绍
中提出的传统量块测量方法效率低下、测量精度难以满足高精度工业需求，且易受人为操作影响导致测量结果偏差较大，无法适应现代自动化、智能化生产场景中对量块快速、精准测量的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种基于双波长移相干涉的高精度量块自动测量装置...
【技术保护点】
1.一种基于双波长移相干涉的高精度量块自动测量装置，其特征在于，包括：两组保温箱(1)，两组所述保温箱(1)之间固定安装有分隔室(106)，所述分隔室(106)内两端均固定安装有CCD相机(107)并通过第二透窗(401)面向于保温箱(1)内与汇聚镜(108)平齐，所述第二透窗(401)开设于分隔室(106)内两端，而所述汇聚镜(108)则固定安装在保温箱(1)内，两组所述保温箱(1)的外表面一端均固定安装有安装台(402)，所述安装台(402)上固定安装有稳频激光器(109)，并让所述稳频激光器(109)的激光发射端通过第一透窗(4)与保温箱(1)内的准直镜(110...
【技术特征摘要】
1.一种基于双波长移相干涉的高精度量块自动测量装置，其特征在于，包括：两组保温箱(1)，两组所述保温箱(1)之间固定安装有分隔室(106)，所述分隔室(106)内两端均固定安装有ccd相机(107)并通过第二透窗(401)面向于保温箱(1)内与汇聚镜(108)平齐，所述第二透窗(401)开设于分隔室(106)内两端，而所述汇聚镜(108)则固定安装在保温箱(1)内，两组所述保温箱(1)的外表面一端均固定安装有安装台(402)，所述安装台(402)上固定安装有稳频激光器(109)，并让所述稳频激光器(109)的激光发射端通过第一透窗(4)与保温箱(1)内的准直镜(110)平齐，所述第一透窗(4)开设于保温箱(1)一端，所述准直镜(110)固定安装在保温箱(1)内，所述准直镜(110)的一端与第一反射镜(111)平齐，所述第一反射镜(111)的纵向一端与分光镜(112)平齐，所述分光镜(112)的横向两端分别与pzt移相器(114)和汇聚镜(108)平齐，所述汇聚镜(108)的一端与ccd相机(107)平齐，所述分光镜(112)的纵向一端与第二反射镜(113)平齐。
2.根据权利要求1所述的基于双波长移相干涉的高精度量块自动测量装置，其特征在于：所述第一反射镜(111)、第二反射镜(113)和分光镜(112)呈等间距转动安装在角度旋调机构(2)的上表面，所述角度旋调机构(2)纵向固定安装在保温箱(1)内，所述pzt移相器(114)固定安装在保温箱(1)内；
3.根据权利要求2所述的基于双波长移相干涉的高精度量块自动测量装置，其特征在于：对测量件进行测量时，启动所述稳频激光器(109)发射稳定波长的激光，激光先经所述准直镜(110)扩束为平行光，以平行状态入射至第一反射镜(111)，所述第一反射镜(111)将平行光反射入分光镜(112)内并分为两路。
4.根据权利要求3所述的基于双波长移相干涉的高精度量块自动测量装置，其特征在于：所述分光镜(112)分出的两路激光分别为参考光路和测量光路；
5.根据权利要求4所述的基于双波长移相干涉的高精度量块自动测量装置，其特征在于：所述压夹机构(3)包括连接板(301)，所述连接板(301)固定安装在置物箱(103)内一端，所述连接板(301)的上下端一侧均固定安装有电机(302)，所述电机(302)的外表面上下端转动安装有第一连接臂(303)，所述电机...
【专利技术属性】
技术研发人员：张旭东，朱强，王方彪，温梓彤，
申请(专利权)人：中国计量科学研究院，
类型：发明
国别省市：
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