单块振动梁式角速度传感器制造技术

一种单块式角速度传感器由一块普通的平的硅基片制成。包括细长梁的传感器元件悬挂在做在普通的基片内的框架孔内。横向元件或耳将该细长梁固定在框架上和梁的节点上。单个梁和多梁式阵列传感器都可以做在一个普通的硅基片内。由一个普通基片制造的方向互相垂直的梁或梁的陈列可以测量围绕二根互相垂直的轴线转动的角速度。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及角速度传感器，更具体地说，涉及一种基于复合向心力检测方法(Coriolis sensing method)的成批处理的硅制梁阵列式角速度传感器。存在着许多用于测量在惯性空间中，围绕一个预先选择的轴线回转的速度的装置。这种装置(通常称为陀螺仪)构成任何一种惯性导航系统的基本元件。陀螺仪(诸如环形激光陀螺仪和光学纤维陀螺仪)包括，例如，多个复杂和难制造的、装有万向接头的旋转转子和多个捷联式传感器。所有上述的速度检测装置的特点是成本高，尺寸和功率消耗大，制造复杂和维修费用昂贵。存在着用于测量围绕一个预先选择的轴线回转的输入转速的其他系统，这些系统是根据一面多年以前提出的福哥尔特(Focoult)摆原理制成的。基于该原理，市场上销售商标为“GYROTRON”的一种速度传感器是由Sperry陀螺仪公司开发的。该装置如同所有平衡共振传感器式或音叉式陀螺仪一样，机械结构和操作都比上述形式的装置简单得多。该装置是根据这样的原理工作的，即当一个音叉围绕其中心线转动时，其所具有的动量矩等于回转速度与回转惯性矩的乘积。音叉尖端的参考运动周期性地改变其惯性矩。结果，为了保持动量矩恒定，回本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种角速度传感器，其包括：ａ）一个细长梁；ｂ）一个框架，它具有一个用于容纳所述梁的内孔；ｃ）用于在所述孔内悬挂所述梁的装置；ｄ）固定在所述梁上用于挠性地驱动所述梁的装置；ｅ）固定在所述梁上用于检测是否有复合向心力作用在所 述梁上及其大小的装置；和ｆ）所述梁、所述悬挂元件和所述框架是一个由硅构成的整体结构。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：罗伯特E斯图尔特，
申请(专利权)人：利顿系统公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]