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一种单块式角速度传感器由一块普通的平的硅基片制成。包括细长梁的传感器元件悬挂在做在普通的基片内的框架孔内。横向元件或耳将该细长梁固定在框架上和梁的节点上。单个梁和多梁式阵列传感器都可以做在一个普通的硅基片内。由一个普通基片制造的方向互相垂直...
该专利属于利顿系统公司所有，仅供学习研究参考，未经过利顿系统公司授权不得商用。

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