惯性传感器以及采用该传感器的复合传感器制造技术

本发明专利技术所提供的惯性传感器，包括有提供诊断信号的自我诊断电路，通过在同步解调器之前施加交流偏压信号电压，检测出检测元件和检测电路的至少其中之一所发生的异常，只要监视是否从惯性传感器的传感器输出端子获得预先指定的ＤＣ偏置信号，就可以主动地诊断传感器自身是否有异常。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种主要用于检测加速度的惯性传感器(Inertial Sensor)以及采用该传感器的复合传感器(Combined Sensor)。
技术介绍
近几年，通过检测车辆的加速度，从而提高导航(navigation)的准确度及对车辆进行安全控制的系统已经得到普及。其中，有用于检测表示车辆的惯性量的加速度或角速度的各种各样的传感器，并可以展望，今后，为了廉价提供具有高功能的传感器，将多个传感器进行复合化已经成为发展的趋势。作为以往的静电容量式(electrostatic capacity type)加速度传感器，有一种用来捕捉对置的电极之间所产生的两个静电容量(即2个电容器的容量)的变化的传感器，而所述对置的电极，被设置在按照所施加的加速度而进行移位的悬臂(cantilever)的附近。作为这样的传感器，有一种例如在专利公开公报平成第4-504003号所公开的加速度检测器。在此加速度检测器中，如图10所示，有2个电容器101、102被桥式串接，从振荡器103发出的交流偏压信号电压，被施加在由此电容器101、102构成的电桥(bridge)上，通过施加加速度，而使悬臂(未图示本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种惯性传感器，其特征在于包括：检测元件，具有第１电容器和第２电容器，其中，所述第１电容器由设置在固定部的第１检测电极和设置在可动部的可动电极所构成，而所述第２电容器是由设置在所述固定部的第２检测电极和设置在所述可动部的可动电极构成 ；驱动电路，用于向所述可动电极施加交流偏压信号电压；检测电路，具有差动型检测器、同步解调器以及输出放大器，其中，所述差动型检测器用于检测所述第１检测电极和第２检测电极的电荷量之差，而此电荷量之差是这样产生的，即，所述可动电极 ，按照在所述检测元件上施加的加速度而发生移位，当在所述第１检测电极产生的电荷量增加时，在所述第２...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：野添利幸，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]