惯性传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种惯性传感器（100），其带有下述的特征：第一传感器元件（108），该传感器元件通过缓冲元件（116）相对于惯性传感器（100）的接口（126）缓冲振动，其中，第一传感器元件（108）构造用于：在第一频带中采集第一测量参量并且缓冲元件（116）构造用于至少在第一频带中缓冲振动，并且第二传感器元件（110），该传感器元件机械地与接口（126）耦合，其中，第二传感器元件（110）构造用于：在第二频带中采集第二测量参量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】201480061753

【技术保护点】
惯性传感器（100），其带有下述的特征：第一传感器元件（108），该传感器元件通过缓冲元件（116）相对于惯性传感器（100）的接口（126）缓冲振动，其中，第一传感器元件（108）构造用于：在第一频带（506）中采集第一测量参量并且缓冲元件（116）构造用于至少在第一频带（506）中缓冲振动；以及第二传感器元件（110），该传感器元件机械地与接口（126）耦合，其中，第二传感器元件（110）构造用于：在第二频带（508）中采集第二测量参量。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.11.12 DE 102013222966.61.惯性传感器（100），其带有下述的特征：
第一传感器元件（108），该传感器元件通过缓冲元件（116）相对于惯性传感器（100）的接口（126）缓冲振动，其中，第一传感器元件（108）构造用于：在第一频带（506）中采集第一测量参量并且缓冲元件（116）构造用于至少在第一频带（506）中缓冲振动；以及
第二传感器元件（110），该传感器元件机械地与接口（126）耦合，其中，第二传感器元件（110）构造用于：在第二频带（508）中采集第二测量参量。
2.按照权利要求1所述的惯性传感器（100），对于该惯性传感器，第二传感器元件（110）未缓冲地与接口（126）耦合。
3.按照前述权利要求中任一项所述的惯性传感器（100），对于该惯性传感器，缓冲元件（116）构造为易弯的梁结构（116），该梁结构将与接口（126）耦合的惯性传感器（100）的部分（200）与惯性传感器（100）的能够振动的部分（112）相连，其中，第一传感器元件（108）与能够振动的部分（112）相连。
4.按照权利要求3所述的惯性传感器（100），对于该惯性传感器，梁结构（116）能够桥接缝隙（202），该缝隙布置在环形环绕的与接口（126）耦合的惯性传感器（100）的环（200）和能够振动的岛部（112）之间，其中，梁结构（116）的梁（116）将岛部（112）的侧面与横向于侧面定向的环（200）的内表面相连。
5.按照前述权利要求中任一项所述的惯性传感器（100），该惯性传感器具有第一基体层（102）和至少一个第二基体层（106），其中，所述基体层（102、106）布置在不同的层面中，并且第一传感器元件（108）布置在第一基体层（102）...

【专利技术属性】
技术研发人员：R埃伦普福特，D潘特尔，F安特，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE