加速度传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种角速度传感器，其具备振动元件，该振动元件包括相互平行延伸的一对驱动臂、连接设置这些驱动臂的一个端部的基部、从该基部向与所述驱动臂相反方向延伸的弯曲臂。另外在该角速度传感器上还设置有：使得所述一对驱动臂在相互接近或者离开的方向上振动的驱动装置；检测所述驱动臂振动方向上的所述弯曲臂畸变的畸变检测装置。

【技术实现步骤摘要】
加速度传感器
本专利技术涉及在飞机、汽车、机器人、船舶、车辆等移动物体的姿势控制和导航等各种电子仪器中使用的角速度传感器。
技术介绍
下面，对以往的角速度传感器进行说明。以往的角速度传感器例如是使类似音叉形状、H形状或者T形状等各种形状的振动元件发生振动，并电检测随着科里奥利(Coriolis)力的产生而导致的振动元件畸变(distortion)，计算角速度。这样的角速度传感器被使用在车辆上所配备的导航装置或者车辆控制装置等之中。例如，在导航装置用角速度传感器中，在相互正交的X轴和Y轴以及Z轴处，在将车辆配置在由X轴和Y轴构成的XY平面上的情况下，需要计算出车辆围绕Z轴(偏航轴)的角速度。该角速度传感器中使用的振动元件通常被配置为朝向Z轴方向竖立在车辆的上方，。一旦在Z轴周围产生了角速度，由于在XY平面上的振动元件在与振动方向正交的方向上产生了由科里奥利力引起的畸变，故通过对其进行检测能够计算出角速度。而且，作为与本申请的专利技术相关的在先技术文献信息，已知的就有例如特开2003-227844号公报。上述结构的振动元件由于必须竖立在基本上与要计算的角速度的旋转中心轴正交的平面上，故本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种角速度传感器，具备振动元件，该振动元件具有相互平行延伸的一对驱动臂、连接设置这些驱动臂的一端的基部、从该基部与所述驱动臂平行延伸并且其中心线通过所述一对驱动臂之间的弯曲臂，所述角速度传感器还具备：驱动装置，其使所述一对驱动臂在相互接近或者离开的方向上振动；畸变检测装置，其检测所述驱动臂的振动方向上的所述弯曲臂的畸变。

【技术特征摘要】
JP 2004-11-4 2004-3202381.一种角速度传感器，具备振动元件，该振动元件具有相互平行延伸的一对驱动臂、连接设置这些驱动臂的一端的基部、从该基部与所述驱动臂平行延伸并且其中心线通过所述一对驱动臂之间的弯曲臂，所述角速度传感器还具备：驱动装置，其使所述一对驱动臂在相互接近或者离开的方向上振动；畸变检测装置，其检测所述驱动臂的振动方向上的所述弯曲臂的畸变。2.如权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于：所述弯曲臂从所述基部向与所述驱动臂的相反方向延伸。3.如权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于：所述振动元件具有方形的框体，在该框体的一边外侧上以留出框体的角部的方式连接设置有所述一对驱动臂，并且在所述一边内侧上连接设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：大内智，野添利幸，相泽宏幸，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]