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加速度传感器制造技术
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文档序号:2625730
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本发明涉及一种角速度传感器,其具备振动元件,该振动元件包括相互平行延伸的一对驱动臂、连接设置这些驱动臂的一个端部的基部、从该基部向与所述驱动臂相反方向延伸的弯曲臂。另外在该角速度传感器上还设置有:使得所述一对驱动臂在相互接近或者离开的方向上...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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