一种吸取治具的升降机构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种吸取治具的升降机构，包括基板、设于所述基板上的升降驱动装置、与所述升降驱动装置相连的升降板、穿设于所述升降板四角处的导向轴，所述导向轴的顶部与位于所述升降板上方的定位框相连，所述导向轴的底部穿过所述基板，与位于基板下方的所述吸取治具相连，其特征在于：所述定位框与升降板之间的导向轴上套设有第一弹簧。采用这样的结构，吸取治具、导向轴、与定位框的重力作用在第一弹簧上，被第一弹簧的弹力抵消，有效降低了吸取治具与产品接触时对产品的冲击力，降低了产品损坏的几率。

【技术实现步骤摘要】
一种吸取治具的升降机构
本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种吸取治具的升降机构。
技术介绍
在半导体制造或者是其他高精尖的自动化行业中，产品的搬运通常是以真空吸附的方式进行的。通过真空发生器连接管路，以吸取治具中的吸嘴作为接触媒介，进行产品的吸取并转移，实现自动化搬运的过程。上述常用的真空方式是目前大主流的搬运方式，但是依旧存在如下的使用缺陷：缺点一：由于吸取治具自重较大，而部分产品又较为脆弱，在治具下降与产品接触时，产品容易受到过大的冲击而导致损坏。缺点二：吸取治具与产品之间应保持完全水平，若因其中一个角翘曲过大，使吸取治具上有吸嘴未能完全与产品接触的话，将会破坏整体密封性，导致真空失效，产品从吸嘴上掉落，而现有的升降机构并不具备相应的调平功能，不能有效保证吸取的可靠性。
技术实现思路
基于此，本技术提供了一种吸取治具的升降机构，能够抵消掉治具本身自重，避免损伤产品。本技术通过如下方式解决该技术问题：一种吸取治具的升降机构，包括基板、设于所述基板上的升降驱动装置、与所述升降驱动装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种吸取治具的升降机构，包括基板(3100)、设于所述基板(3100)上的升降驱动装置、与所述升降驱动装置相连的升降板(3300)、穿设于所述升降板(3300)四角处的导向轴(3600)，所述导向轴(3600)的顶部与位于所述升降板(3300)上方的定位框(3500)相连，所述导向轴(3600)的底部穿过所述基板(3100)，与位于基板(3100)下方的所述吸取治具(3800)相连，其特征在于：所述定位框(3500)与升降板(3300)之间的导向轴(3600)上套设有第一弹簧(3601)。/n

【技术特征摘要】
1.一种吸取治具的升降机构，包括基板(3100)、设于所述基板(3100)上的升降驱动装置、与所述升降驱动装置相连的升降板(3300)、穿设于所述升降板(3300)四角处的导向轴(3600)，所述导向轴(3600)的顶部与位于所述升降板(3300)上方的定位框(3500)相连，所述导向轴(3600)的底部穿过所述基板(3100)，与位于基板(3100)下方的所述吸取治具(3800)相连，其特征在于：所述定位框(3500)与升降板(3300)之间的导向轴(3600)上套设有第一弹簧(3601)。


2.按照权利要求1所述的吸取治具的升降机构，其特征在于：还包括设于所述定位框(3500)四角处的调平螺栓(3700)，所述调平螺栓(3700)包括一个底部具有顶头(3702)的螺纹轴(3701)与一个能够旋入所述螺纹轴(3701)的螺母(3703)，所述螺纹轴(3701)穿设于所述定位框(3500)中，所述顶头(3702)面朝所述升降板(3300)布置，所述螺母(3703)安装在所述螺纹轴(370...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵嘉裕，
申请(专利权)人：上海世禹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31