一种光掩模湿法工艺卡盘制造技术

本发明专利技术公开一种光掩模湿法工艺卡盘，涉及微电子制造领域，包括卡盘本体，所述卡盘本体底部固定连接有卡盘连接件，所述卡盘连接件与旋转电机的旋转轴固定连接；所述旋转电机上安装有马达盖本体，所述马达盖本体套设于所述卡盘连接件上，所述马达盖本体与所述卡盘本体之间设置有卡盘防水罩，所述卡盘防水罩套设于所述卡盘连接件上，且所述卡盘防水罩顶部与所述卡盘本体底部固定连接。本发明专利技术通过设计优化卡盘底座和马达盖的密封结构，达到防水和防止虹吸效应，避免液体进入马达盖，有效防止旋转电机进水和腐蚀。

【技术实现步骤摘要】
一种光掩模湿法工艺卡盘
本专利技术涉及微电子制造
，特别是涉及一种光掩模湿法工艺卡盘。
技术介绍
光掩模在单片spin湿法工艺中会使用到酸性，碱性药剂和水。光掩模放在卡盘上旋转进行清洗，卡盘底座和马达盖之间由于防水的要求，需要尽量减小两者之间的间隙，防止在清洗过程中有液体冲入马达盖腐蚀和烧毁电机。但卡盘底座和马达盖之间的间隙很小时会发生虹吸效应，液体在虹吸效应下会透过间隙，进入马达盖；不能有效保护旋转电机，在酸碱环境下影响其使用寿命，现有技术不能有效避免虹吸效应做到很好的防水效果。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种光掩模湿法工艺卡盘，以解决上述现有技术存在的问题，通过设计优化卡盘底座和马达盖的密封结构，达到防水和防止虹吸效应，避免液体进入马达盖，有效防止旋转电机进水和腐蚀。为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：本专利技术提供一种光掩模湿法工艺卡盘，包括卡盘本体，所述卡盘本体底部固定连接有卡盘连接件，所述卡盘连接件与旋转电机的旋转轴固定连接；所述旋转电机上安装有马达盖本体，所述马达盖本体套设于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光掩模湿法工艺卡盘，其特征在于：包括卡盘本体，所述卡盘本体底部固定连接有卡盘连接件，所述卡盘连接件与旋转电机的旋转轴固定连接；所述旋转电机上安装有马达盖本体，所述马达盖本体套设于所述卡盘连接件上，所述马达盖本体与所述卡盘本体之间设置有卡盘防水罩，所述卡盘防水罩套设于所述卡盘连接件上，且所述卡盘防水罩顶部与所述卡盘本体底部固定连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种光掩模湿法工艺卡盘，其特征在于：包括卡盘本体，所述卡盘本体底部固定连接有卡盘连接件，所述卡盘连接件与旋转电机的旋转轴固定连接；所述旋转电机上安装有马达盖本体，所述马达盖本体套设于所述卡盘连接件上，所述马达盖本体与所述卡盘本体之间设置有卡盘防水罩，所述卡盘防水罩套设于所述卡盘连接件上，且所述卡盘防水罩顶部与所述卡盘本体底部固定连接。


2.根据权利要求1所述的光掩模湿法工艺卡盘，其特征在于：所述卡盘本体底部开设有第一凹槽，所述第一凹槽外环设有第二凹槽，所述第二凹槽的深度小于第一凹槽的深度，所述卡盘连接件顶部卡接于所述第一凹槽内，所述卡盘防水罩上端的连接部卡接于第二凹槽内，所述卡盘连接件上环设有卡盘底座，所述卡盘底座底部卡接于所述马达盖本体上，所述卡盘防水罩连接部的底端位于所述卡盘底座上，且所述卡盘防水罩的连接部、第二凹槽和卡盘底座通过螺栓固定连接。


3.根据权利要求2所述的光掩模湿法工艺卡盘，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐飞，邬治国，沈健，华卫群，尤春，刘维维，
申请(专利权)人：常州瑞择微电子科技有限公司，无锡中微掩模电子有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32