一种半导体传送机台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体传送机台，包括：晶圆匣盒载物台，设置有用于放置晶圆匣盒的支撑板；机械升降装置，设置于所述支撑板的下方；所述机械升降装置包括底座和设置于底座之上的可伸缩装置，所述可伸缩装置使所述晶圆匣盒沿预定方向倾斜和复位。本实用新型专利技术可以有效避免人工借助工具手动推进晶圆实现复位时，对待复位晶圆的损害、晶舟中晶圆的污染及对晶圆良率、生产效率等造成的不利影响。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体传送机台
本技术涉及半导体设备领域，具体涉及一种半导体传送机台。
技术介绍
炉管KE机台在装载或未装载时，会将晶圆(wafer)在晶舟(boat)和晶圆匣盒(cassette)之间传送，传送机台(stage)上的传感器(mappingsensor)用于侦测晶圆摆放后位置是否正确。在这一过程中，如果在运送过程中有震动或者晶舟在运行中有震动，都会易于造成晶圆在未装载时晶圆匣盒上的位置发生偏移，当晶圆的位置超过传感器的感应距离，传感器就会报警。值班工程师处理报警时，一般需将机台的后门打开，用较长的刚拆开包装的石英喷嘴或其他使晶圆复位的工具手动将晶圆往里推到正确的位置，等到报警状态改变再关上门，进行后续其他的处理。在此过程中会存在以下问题：1)打开机台门时，晶舟上的产品易于与空气接触，造成产品的污染；2)当使用工具使晶圆复位时，对不准或晶圆移位数过多情况下，工具在插、抽情况下可能会对晶圆表面及侧面产生损坏；被工具碰到的晶圆还需拉出来测量是否损坏，影响良率的同时，也严重降低了运货效率；3)当采用石英喷嘴作为使晶圆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体传送机台，其特征在于，包括：/n晶圆匣盒载物台，设置有用于放置晶圆匣盒的支撑板；/n机械升降装置，设置于所述支撑板的下方；/n所述机械升降装置包括底座和设置于所述底座之上的可伸缩装置，所述可伸缩装置使所述晶圆匣盒沿预定方向倾斜和复位。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体传送机台，其特征在于，包括：
晶圆匣盒载物台，设置有用于放置晶圆匣盒的支撑板；
机械升降装置，设置于所述支撑板的下方；
所述机械升降装置包括底座和设置于所述底座之上的可伸缩装置，所述可伸缩装置使所述晶圆匣盒沿预定方向倾斜和复位。


2.根据权利要求1所述的半导体传送机台，其特征在于，所述可伸缩装置为固定在所述底座上的伸缩柱及环绕在所述伸缩柱外围的弹簧；所述弹簧的一端与所述底座固定连接，另一端与所述支撑板固定连接。


3.根据权利要求1所述的半导体传送机台，其特征在于，所述可伸缩装置为固定在所述底座上的伸缩柱及环绕在所述伸缩柱外围的伸缩管；所述伸缩管的一端与所述底座固定连接，另一端与所述支撑板固定连接。


4.根据权利要求1所述的半导体传送机台，其特征在于，所述支撑板的一侧设置有防止所述晶圆匣盒倾斜时产生滑动的阻挡装置。


5.根据权利要求1所述的半导体传送机台，其特征在于，所述支撑板上设置有用于固定所述晶圆匣盒的单...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓伟东，吕晓晨，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37