一种防破损的石英晶片掩膜工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种防破损的石英晶片掩膜工装，涉及石英晶片加工技术领域。包括底板、压片和固定螺栓，所述底板的上方设置有压片，所述底板和压片的内部设置有固定螺栓，所述底板的四周固定连接有连接块，所述连接块的内部开设有螺纹孔，所述底板的内部开设有圆孔，所述底板的上表面中间固定安装有定位块；通过设置压片覆盖在底板上方，通过压片下表面的卡槽对石英晶片进行卡接，石英晶片四周与卡槽内壁直接接触，增大了石英晶片与固定结构的接触面积，区别于现有的掩膜工装，使适应晶片在掩膜加工过程中与工装的接触面扩大，从而使石英晶片固定时的受力更加均匀，防止因受力不均导致造成的破损。

【技术实现步骤摘要】
一种防破损的石英晶片掩膜工装
本技术涉及适应晶片加工
，具体为一种防破损的石英晶片掩膜工装。
技术介绍
石英晶体的化学成分为SiO2，晶体属三方晶系的氧化物矿物，即低温石英，是石英族矿物中分布最广的一个矿物种，石英集合体通常呈粒状、块状或晶簇、晶腺等。纯净的石英无色透明，玻璃光泽，贝壳状断口上具油脂光泽，无解理，受压或受热能产生电效应。现有技术中适应晶片掩膜加工过程中常会用到掩膜工装进行固定，常用的掩膜工装固定点单一，掩膜加工过程中，由于受力不均匀可能导致适应晶片破损。
技术实现思路
本技术提供了一种防破损的石英晶片掩膜工装，具备防破损的优点，以解决容易破损的问题。为实现防破损的目的，本技术提供如下技术方案：一种防破损的石英晶片掩膜工装，包括底板、压片和固定螺栓，所述底板的上方设置有压片，所述底板和压片的内部设置有固定螺栓；所述底板的四周固定连接有连接块，所述连接块的内部开设有螺纹孔，所述底板的内部开设有圆孔，所述底板的上表面中间固定安装有定位块，所述定位块的内部开设有通槽；所述压片的四周开设有通孔，所述压片的下表面开设有卡槽；所述固定螺栓贯穿通孔与螺纹孔螺纹连接。作为本技术的一种优选技术方案，所述连接块的数量为四个，且四个连接块以底板中心为轴心对称设置在连接块四周。作为本技术的一种优选技术方案，所述压片中心与底板中心相对叠加时，所述通孔与螺纹孔一一对应。作为本技术的一种优选技术方案，所述圆孔以底板中心为轴心对称设置在底板内部，且圆孔贯通底板上下表面。作为本技术的一种优选技术方案，所述通槽从定位块上表面延伸至底板下表面。作为本技术的一种优选技术方案，所述压片呈圆环状，所述卡槽内壁为与压片同圆心的圆环。作为本技术的一种优选技术方案，所述卡槽最大直径小于底板直径最小距离。与现有技术相比，本技术提供了一种防破损的石英晶片掩膜工装，具备以下有益效果：1、该防破损的石英晶片掩膜工装，通过设置压片覆盖在底板上方，通过压片下表面的卡槽对石英晶片进行卡接，石英晶片四周与卡槽内壁直接接触，增大了石英晶片与固定结构的接触面积，区别于现有的掩膜工装，使适应晶片在掩膜加工过程中与工装的接触面扩大，从而使石英晶片固定时的受力更加均匀，防止因受力不均导致造成的破损。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的正剖视图。图中：1、底板；11、连接块；12、螺纹孔；13、圆孔；14、定位块；15、通槽；2、压片；21、通孔；22、卡槽；3、固定螺栓。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2，本技术公开了一种防破损的石英晶片掩膜工装，包括底板1、压片2和固定螺栓3，所述底板1的上方设置有压片2，所述底板1和压片2的内部设置有固定螺栓3；所述底板1的四周固定连接有连接块11，所述连接块11的内部开设有螺纹孔12，所述底板1的内部开设有圆孔13，所述底板1的上表面中间固定安装有定位块14，所述定位块14的内部开设有通槽15；所述压片2的四周开设有通孔21，所述压片2的下表面开设有卡槽22；所述固定螺栓3贯穿通孔21与螺纹孔12螺纹连接。具体的，所述连接块11的数量为四个，且四个连接块11以底板1中心为轴心对称设置在连接块11四周。本实施方案中，四个连接块11对称设置在底板1四周，提高压片2与底板1连接的稳定性，使加工时石英晶片受到的来自工装的作用力更加均衡。具体的，所述压片2中心与底板1中心相对叠加时，所述通孔21与螺纹孔12一一对应。本实施方案中，通孔21与螺纹孔12一一对应，为底板1与压片2连接时固定螺栓3的栓入提供固定点。具体的，所述圆孔13以底板1中心为轴心对称设置在底板1内部，且圆孔13贯通底板1上下表面。本实施方案中，圆孔13用于掩膜加工时对石英晶片进行分区染色，圆孔13形制不唯一，可以根据加工实际需要进行调整。具体的，所述通槽15从定位块14上表面延伸至底板1下表面。本实施方案中，通槽15为工装与加工设备的固定提供受力支点。具体的，所述压片2呈圆环状，所述卡槽22内壁为与压片2同圆心的圆环。本实施方案中，卡槽22与压片2横截面为同心圆，使卡槽22对石英晶片固定时石英晶片受力更加均匀。具体的，所述卡槽22最大直径小于底板1直径最小距离。本实施方案中，卡槽22最大直径小于底板1直径最小距离，防止石英晶片外缘突出底板1，造成受力不对称产生破损。本技术的工作原理及使用流程：在使用时，将石英晶片放置在底板1上表面并使石英晶片套接在定位块14外部，将压片2沿卡槽22卡接在石英晶片上表面，并使通孔21与螺纹孔12一一对应，向各个通孔21内插入固定螺栓3，并转动固定螺栓3使固定螺栓3下端与螺纹孔12螺纹连接，固定螺栓3的上端与压片2的上表面紧密贴合，完成工装与石英晶片的固定。综上所述，该防破损的石英晶片掩膜工装，通过设置压片2覆盖在底板1上方，通过压片2下表面的卡槽22对石英晶片进行卡接，石英晶片四周与卡槽22内壁直接接触，增大了石英晶片与固定结构的接触面积，区别于现有的掩膜工装，使适应晶片在掩膜加工过程中与工装的接触面扩大，从而使石英晶片固定时的受力更加均匀，防止因受力不均导致造成的破损。需要说明的是，在本文中，诸如术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防破损的石英晶片掩膜工装，包括底板(1)、压片(2)和固定螺栓(3)，其特征在于：所述底板(1)的上方设置有压片(2)，所述底板(1)和压片(2)的内部设置有固定螺栓(3)；/n所述底板(1)的四周固定连接有连接块(11)，所述连接块(11)的内部开设有螺纹孔(12)，所述底板(1)的内部开设有圆孔(13)，所述底板(1)的上表面中间固定安装有定位块(14)，所述定位块(14)的内部开设有通槽(15)；/n所述压片(2)的四周开设有通孔(21)，所述压片(2)的下表面开设有卡槽(22)；/n所述固定螺栓(3)贯穿通孔(21)与螺纹孔(12)螺纹连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种防破损的石英晶片掩膜工装，包括底板(1)、压片(2)和固定螺栓(3)，其特征在于：所述底板(1)的上方设置有压片(2)，所述底板(1)和压片(2)的内部设置有固定螺栓(3)；
所述底板(1)的四周固定连接有连接块(11)，所述连接块(11)的内部开设有螺纹孔(12)，所述底板(1)的内部开设有圆孔(13)，所述底板(1)的上表面中间固定安装有定位块(14)，所述定位块(14)的内部开设有通槽(15)；
所述压片(2)的四周开设有通孔(21)，所述压片(2)的下表面开设有卡槽(22)；
所述固定螺栓(3)贯穿通孔(21)与螺纹孔(12)螺纹连接。


2.根据权利要求1所述的一种防破损的石英晶片掩膜工装，其特征在于：所述连接块(11)的数量为四个，且四个连接块(11)以底板(1)中心为轴心对称设置在连接块(11)四周。


3....

【专利技术属性】
技术研发人员：张斌，郑宝春，郑宝生，
申请(专利权)人：浙江蓝晶芯微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33