晶片夹持装置及离子注入系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例涉及离子注入夹具技术领域，具体而言，涉及一种晶片夹持装置及离子注入系统。在本方案中，通过对基座、靶台、压环、连接件、缓冲垫、定位件和固定组件之间的相对位置进行设置，使得缓冲垫和定位件形成用于对晶片进行定位的结构，并使得固定组件与靶台形成用于对压环进行固定的结构。定位件能够对放置在缓冲垫上的晶片进行定位，固定组件能够在压环与放置在缓冲垫上的晶片压合时对压环进行固定。如此，通过定位件、压环和固定组件的互相配合，能够对晶片进行固定和限位，避免晶片脱离晶片夹持装置，从而提高离子注入的成功率。

【技术实现步骤摘要】
晶片夹持装置及离子注入系统
本技术实施例涉及离子注入夹具
，具体而言，涉及一种晶片夹持装置。
技术介绍
晶片夹具作为离子注入机的重要组件之一，用于在晶片(例如IGBT晶片)的离子注入工序中对晶片进行承载。然而，在离子注入的过程中，若晶片可能会脱离晶片夹具并出现破损，进而降低离子注入的成功率。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种晶片夹持装置及离子注入系统，缓冲垫上设置有定位件且靶台上设置有固定组件，定位件能够对放置在缓冲垫上的晶片进行定位，固定组件能够在压环与放置在缓冲垫上的晶片压合时对压环进行固定。如此，通过定位件、压环和固定组件的互相配合，能够对晶片进行固定和限位，避免晶片脱离晶片夹持装置，从而提高离子注入的成功率。本技术的第一方面，提供了一种晶片夹持装置，包括：基座1、靶台2、压环3、固定组件4、连接件5、缓冲垫6和定位件7；所述靶台2固定于所述基座1，所述缓冲垫6设置于所述靶台2远离所述基座1的一面；所述压环3设置于所述缓冲垫6远离所述靶台2的一面，并通过所述连接件5与所述靶台2连接，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶片夹持装置，其特征在于，包括：基座(1)、靶台(2)、压环(3)、固定组件(4)、连接件(5)、缓冲垫(6)和定位件(7)；/n所述靶台(2)固定于所述基座(1)，所述缓冲垫(6)设置于所述靶台(2)远离所述基座(1)的一面；/n所述压环(3)设置于所述缓冲垫(6)远离所述靶台(2)的一面，并通过所述连接件(5)与所述靶台(2)连接，所述连接件(5)在外力的作用下带动所述压环(3)向所述靶台(2)运动以与放置在所述缓冲垫(6)上的晶片的边缘压合；/n所述定位件(7)设置于所述缓冲垫(6)远离所述连接件(5)的一端，用于对放置在所述缓冲垫(6)上的晶片进行定位；/n所述固定组件(4)设...

【技术特征摘要】
1.一种晶片夹持装置，其特征在于，包括：基座(1)、靶台(2)、压环(3)、固定组件(4)、连接件(5)、缓冲垫(6)和定位件(7)；
所述靶台(2)固定于所述基座(1)，所述缓冲垫(6)设置于所述靶台(2)远离所述基座(1)的一面；
所述压环(3)设置于所述缓冲垫(6)远离所述靶台(2)的一面，并通过所述连接件(5)与所述靶台(2)连接，所述连接件(5)在外力的作用下带动所述压环(3)向所述靶台(2)运动以与放置在所述缓冲垫(6)上的晶片的边缘压合；
所述定位件(7)设置于所述缓冲垫(6)远离所述连接件(5)的一端，用于对放置在所述缓冲垫(6)上的晶片进行定位；
所述固定组件(4)设置于所述靶台(2)远离所述连接件(5)的一端，用于在所述压环(3)与放置在所述缓冲垫(6)上的晶片压合时对所述压环(3)进行固定。


2.根据权利要求1所述的晶片夹持装置，其特征在于，所述固定组件(4)包括固定件和转轴；
所述转轴插入所述靶台(2)并位于所述靶台(2)远离所述连接件(5)的一端；
所述固定件套设于所述转轴远离所述靶台(2)的一端，所述固定件在压环(3)与所述晶片的边缘压合时被转动至所述压环(3)的上方，对所述压环(3)进行固定。


3.根据权利要求2所述的晶片夹持装置，其特征在于，所述固定件包括第一固定件(411)和第二固定件(421)，所述转轴包括第一转轴(412)和第二转轴(422)；
所述第一转轴(412)和所述第二转轴(422)均插入所述靶台(2)并位于所述靶台(2)远离所述连接件(5)的一端，所述第一转轴(412)和所述第二转轴(422)位于所述靶台(2)的两侧；

【专利技术属性】
技术研发人员：宋滨，张凤志，毛纯艺，
申请(专利权)人：吉林华微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林;22