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本实用新型实施例涉及离子注入夹具技术领域，具体而言，涉及一种晶片夹持装置及离子注入系统。在本方案中，通过对基座、靶台、压环、连接件、缓冲垫、定位件和固定组件之间的相对位置进行设置，使得缓冲垫和定位件形成用于对晶片进行定位的结构，并使得固定组...
该专利属于吉林华微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉林华微电子股份有限公司授权不得商用。

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