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本实用新型公开了一种防破损的石英晶片掩膜工装，涉及石英晶片加工技术领域。包括底板、压片和固定螺栓，所述底板的上方设置有压片，所述底板和压片的内部设置有固定螺栓，所述底板的四周固定连接有连接块，所述连接块的内部开设有螺纹孔，所述底板的内部开设...
该专利属于浙江蓝晶芯微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江蓝晶芯微电子有限公司授权不得商用。

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