一种夹紧式配重的顶针机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种夹紧式配重的顶针机构，属于半导体设备领域。本实用新型专利技术所述的一种夹紧式配重的顶针机构，该顶针置于热台的通孔内，热台的下方设有顶板，顶针的底端布置于顶板上，顶板由气缸作动进行上下运动，所述的顶针的底端与顶板接触端之间设有夹紧配重单元，该夹紧配重单元保持顶针垂直于顶板的水平基准面。本实用新型专利技术所述的夹紧式配重的顶针机构，采用的夹紧式配重单元使得顶针的重心下移，重心驱使顶针保持一个垂直的状态不会发生倾斜。保证下顶针在升降的过程中形成独立的垂直状态不会与周边设备发生接触摩擦，进一步增加了顶针在运动过程中的稳定性，解决了顶针卡断的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种夹紧式配重的顶针机构
本技术涉及一种夹紧式配重的顶针机构，属于半导体设备领域。
技术介绍
科技飞速发展，半导体行业日见突出重要的今天，半导体的自动化及要求也越来越高，半导体行业中很多设备都用到了真空机械手传送晶片，然而在真空中配合机械手传送片的机构就是顶针机构。其重要性不言而喻。因为顶针机构一般都是针对特定的机台特定腔体结构及特定设备布局，设计特定的顶针机构。其结构也存在多种多样，应用上都或多或少的存在着各种问题。给设备的使用也造成很大的不变，给客户也造成不小的烦恼。其中经常出现的问题则是使用过程中顶针用一段时间就会断掉，甚至有些时候顶针断掉的频率还特别高，如果顶针断了并没有及时发现，而继续正常运行设备，则后果可能会很严重。因此给客户带来很大的困扰的同时，也给公司带来人力和经济上的浪费。最常用的一种顶针，由于顶针放在热台的孔内，间隙配合，然而这个间隙很难控制，空隙小了，顶针与孔配合太紧，顶针不容易落下去，就容易发生事故。当然如果间隙太大，更容易出现断针的情况，因为间隙大了，实际顶针放在孔内就会出现倾斜的状态，如图示，这样，在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种夹紧式配重的顶针机构，该顶针置于热台的通孔内，热台的下方设有顶板，顶针的底端布置于顶板上，顶板由气缸作动进行上下运动，其特征在于;所述的顶针的底端与顶板接触端之间设有夹紧配重单元，该夹紧配重单元保持顶针垂直于顶板的水平基准面。/n

【技术特征摘要】
1.一种夹紧式配重的顶针机构，该顶针置于热台的通孔内，热台的下方设有顶板，顶针的底端布置于顶板上，顶板由气缸作动进行上下运动，其特征在于;所述的顶针的底端与顶板接触端之间设有夹紧配重单元，该夹紧配重单元保持顶针垂直于顶板的水平基准面。


2.根据权利要求1所述的夹紧式配重的顶针机构，其特征在于：所述的夹紧配重单元包括主体块，填充块，螺钉；主体块内设有容纳顶针底端部的凹腔；该凹腔沿主体块径向延伸，凹腔沿主体块的轴向两端为开口状；容纳顶针底端部的凹腔的径向开口端通过填充块封堵，所述的主体块与填充块上个设有通孔，主体块的通孔与填充块的通孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯永刚，胡冬冬，李娜，程实然，刘海洋，王铖熠，张瑶瑶，许开东，
申请(专利权)人：江苏鲁汶仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32