一种高纯三氟化氮气体的充装装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种高纯三氟化氮气体的充装装置，属于气体充装技术领域。所述装置包括通过管路依次连接的NF

【技术实现步骤摘要】
一种高纯三氟化氮气体的充装装置
本技术涉及一种高纯三氟化氮气体的充装装置，属于气体充装

技术介绍
三氟化氮的充装主要通过隔膜压缩机进行气态充装或通过隔膜泵进行液态充装。在气态充装过程中，NF3气体中夹带的金属粒子或膜压机内存在的金属粒子会随着NF3气体进入压力容器内，金属粒子与压力容器内壁高速碰撞、摩擦将会使局部温度急剧升高进而导致NF3裂解产生F2，而F2为强氧化剂会与周围物质迅速反应发生爆炸。通过隔膜泵输送液态NF3，经汽化器汽化增压后充入压力容器内，此工艺控制难度大，可操作性差，容易发生事故。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于一种高纯三氟化氮气体的充装装置。所述能够降低高纯NF3气体中金属粒子的含量，保证充装工作的安全性。为实现上述目的，本技术的技术方案如下：一种高纯三氟化氮气体的充装装置，所述装置包括通过管路依次连接的NF3气体暂存装置、低压过滤器、隔膜压缩机、高压过滤器和充装汇流排，充装汇流排的出口与待充装压力容器，NF3气体暂存装置与低压过滤器的连接管路、低压过滤器与隔膜压缩机的连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高纯三氟化氮气体的充装装置，其特征在于：所述装置包括通过管路依次连接的NF

【技术特征摘要】
1.一种高纯三氟化氮气体的充装装置，其特征在于：所述装置包括通过管路依次连接的NF3气体暂存装置（1）、低压过滤器（2）、隔膜压缩机（3）、高压过滤器（4）和充装汇流排（5），充装汇流排（5）的出口与待充装压力容器（6），NF3气体暂存装置（1）与低压过滤器（2）的连接管路、低压过滤器（2）与隔膜压缩机（3）的连接管路、隔膜压缩机（3）与高压过滤器（4）的连接管路、高压过滤器（4）与充装汇流排（5）之间均设置有阀门，所述阀门用于控制管路的开闭。


2.如权利要求1所述的一种高纯三氟化氮气体的充装装置，其特征在于：所述NF3气体暂存装置（1）的容积为5~20m3。


3.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：张储桥，胡帅，孟祥军，李丹丹，张明杰，王振宇，曹红梅，王志民，
申请(专利权)人：中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13