【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种微电子
的微传感器，特别涉及一种基于导电聚合物 -碳黑颗粒的气敏微传感器。
技术介绍
自1977年导电聚合物被发现以来，世界各国掀起了研究导电聚合物的热潮。 大量研究表明，各种共轭聚合物经掺杂后都能变为具有不同导电性能的导电聚合 物。在导电聚合物中掺入碳黑并制成敏感膜，当敏感膜吸收了某些气体后，体 积膨胀，使得碳黑颗粒间距增大，敏感膜电阻随之增加，基于此原理的传感器 对大多数有机类气体都有广泛的响应。经对现有技术的文献检索发现，杨秋冬等在《传感技术学报》2005年9月 第18巻第3期504-513页上发表的"基于聚合物碳黑混合物气敏微传感器的 研究"，该文中提出了一种采用聚合物-碳黑敏感材料的气敏微传感器。具体结 构如下传感器为层状结构，从底层到顶层分别为硅衬底、二氧化硅层、氮化硅 膜、肽层、铂金梳状叉指电极和聚合物-碳黑混合物敏感膜。具体工作原理如下 通入待检测气体，由于聚合物在吸附了待检测气体之后，体积发生膨胀，搀杂 在其中起导电作用的碳黑之间的平均距离也随之增加，那么聚合物-碳黑敏感膜 的电阻率就会增加。通过多次通入待测气体得到敏...
【技术保护点】
一种基于导电聚合物－碳黑颗粒的气敏微传感器，其特征在于，从底层到顶层依次包括硅衬底、二氧化硅层、氮化硅膜、钛层、加热电阻丝与梳状叉指电极、聚合物－碳黑混合物敏感膜，其中每一层直接覆盖在下一层的上面，所述硅衬底、二氧化硅层、氮化硅膜、钛层自下而上构成传感器的支撑结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李以贵，高阳，张俊峰，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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