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本发明涉及一种微电子技术领域的基于导电聚合物－碳黑颗粒的气敏微传感器，从底层到顶层分别为硅衬底、二氧化硅层、氮化硅膜、钛层、加热电阻丝与梳状叉指电极、聚合物－碳黑混合物敏感膜，其中每一层直接覆盖在下一层的上面，所述硅衬底、二氧化硅层、氮化硅...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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