一种用于生物医学电化学检测的三维微电极及其制作方法技术

本发明专利技术提出一种用于生物医学电化学检测的三维微电极结构及其制作方法。利用微加工技术，在衬底表面制作牺牲层和具有一定内应力的双层金属结构，通过去除牺牲层，将制作于衬底表面的微电极金属释放，使其通过本身的内应力作用产生背离衬底表面的翘曲，从而形成一种三维立体微电极结构。该三维微电极与将流体有更好的接触，且在相同的电极尺寸下增大了微电极与流体的有效接触面积。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基于微加工技术制作的用于生物医学电化学检 测的三维微电极结构及其制作方法。
技术介绍
在生物检测技术中，常见的方法包括荧光标记法和电化学检测方 法。荧光标记法需要尺寸较大的光检测设备，因此难以微型化，无法 集成到微芯片上。电化学检测方法由于其灵敏度高、选择性好、可微 型集成化、对检测样品的混浊度要求低、成本低、功耗低、适合利用 微组装技术实现等优点，目前正吸引越来越多研究人员的研究兴趣。用于电化学检测的主要设备是电化学微电极。通常情况下，电化 学微电极被设置在微芯片流道的下表面的氧化钝化层上，但也有一些PCR(聚合酶链式反应)生物微芯片出于某些原因将电极设置于微流 道或微腔的上表面。设置在下表面的微电极只有一个表面接触流体， 接触面积较小；而设置于上表面的微电极有时悬于液面以上，难以接为了让微电极与流体有更好的接触，需要一种技术，使得在相同 的电极尺寸下增大微电极与微流体的有效接触面积。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术的 一方面提出 一种电化学三维微电极 结构，包括衬底；在该衬底表面形成的双金属结构，其中该双金属结构从所述衬底翘起。本专利技术的另一方面提供本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制作电化学三维微电极结构的方法，包括：　在衬底表面形成牺牲层；　在所述牺牲层上形成双金属层，使得所述双金属层产生内应力，该内应力使得所述双金属层具有向背离所述衬底的方向翘起的趋势；以及　去除所述牺牲层，使得所述双金属层 从所述衬底翘起。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘泽文，秦健，国石磊，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]