一种用于生物医学流体的微型可逆密封结构和制作方法技术

公开了一种用于生物医学微流体的微型可逆密封结构，包括：第一衬底，在该第一衬底上设置有图案化的ＰＤＭＳ密封层；第二衬底，在该第二衬底上设置有流体控制和处理功能器件；并且所述第二衬底上设置的流体控制和处理功能器件通过所述ＰＤＭＳ密封层被封装在所述第一衬底和第二衬底之间。还公开了一种制作用于生物医学微流体的微型可逆密封结构的方法，包括：在第一衬底上制作图案化的ＰＤＭＳ密封层；在第二衬底上制作流体控制和处理功能器件；以及通过所述ＰＤＭＳ密封层将所述第二衬底结合到所述第一衬底上，使得所述第二衬底上的流体控制和处理功能器件被封装在所述第一衬底和所述第二衬底之间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于生物医学微流体的微型可逆密封结构及其制作方法，更具体地，涉及一种基于微机电系统(MEMS)微加工技 术制作的用于生物医学微流体的微型可逆密封结构及其制作方法。
技术介绍
微型化生物化学分析系统由于其灵敏度高、选择性好、成本低、 体积小等优点，在生物医学、门诊、法医学等领域有着广泛的应用前 景和巨大的巿场空间。微型化生物分析系统通常需要将用于样品纯 化、混合、扩增、分配的微流体生物芯片和生化测量单元进行高度集 成。在进行样品的处理、制备和扩增的过程中，由于微流体样品溶液 的量很少，如果密封不好，则在一定的温度和湿度条件下很容易被蒸 发。因此，需要一种可靠的密封结构对微流体进行密封。对微流体的密封通常釆用两种方式， 一种是可逆密封，另一种是 不可逆密封。不可逆密封通常是利用微加工技术中的键合等方式实现 的。通过不可逆密封方法对微流体进行密封所获得的产品在可靠性、 可控性、以及可重复性等方面存问题。而利用聚合物材料进行可逆密 封具有快速易行、可在室温条件下完成等优点。目前常用的可逆密封 材料是PDMS,即聚二甲基硅氧烷，俗称硅橡胶。通常进行可逆密封 的方式是将密封结本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于生物医学微流体的微型可逆密封结构，包括：　第一衬底，在该第一衬底上设置有图案化的ＰＤＭＳ密封层；　第二衬底，在该第二衬底上设置有流体控制和处理功能器件；且　所述第二衬底上设置的流体控制和处理功能器件通过所述ＰＤＭＳ 密封层被封装在所述第一衬底和第二衬底之间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘泽文，秦健，王子千，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]