下载一种用于生物医学流体的微型可逆密封结构和制作方法的技术资料

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公开了一种用于生物医学微流体的微型可逆密封结构,包括:第一衬底,在该第一衬底上设置有图案化的PDMS密封层;第二衬底,在该第二衬底上设置有流体控制和处理功能器件;并且所述第二衬底上设置的流体控制和处理功能器件通过所述PDMS密封层被封装在所...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。

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