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本发明提出一种用于生物医学电化学检测的三维微电极结构及其制作方法。利用微加工技术，在衬底表面制作牺牲层和具有一定内应力的双层金属结构，通过去除牺牲层，将制作于衬底表面的微电极金属释放，使其通过本身的内应力作用产生背离衬底表面的翘曲，从而形成...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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