带有轴向风扇的气悬微粒传感器制造技术

一种用于光学检测流动气体中悬浮的自由粒子的光学传感器（１０６），包括：具有进气口（１１５）和排气口（１６２）的采样室（１３５）；让所述气体从所述进气口通过所述采样室流动到所述排气口的气流系统（１２０）；光源（１３４）；引导所述光穿过所述采样室的光学系统（３１０，３１９）；被设置以收集由气体中的所述粒子散射的光的光学收集系统（３３０）；以及被设置以检测所收集的光的检测系统（３４０）。整个所述气流系统中的总压力降为３英寸水柱或更小，该气流系统包括轴向风扇（１２８），该轴向风扇可为高静压风扇或对转式风扇。在１．０ＣＦＭ系统中，进气口喷嘴（１３０）的面积为２５平方毫米或更大。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术总体涉及利用光散射原理检测气体中不希望有的单粒子的 系统，该系统在本领域中通常被称为光学粒子计数器，更具体而言， 本专利技术涉及这样的粒子计数器中的气流系统。
技术介绍
众所周知，在诸如高科技电子器件和药物制造的产业中，必须防 止小粒子造成的污染。这一需要导致了光学粒子计数器的发展，在该 光学粒子计数器中流体流过光学传感器，该光学传感器检测存在的污 染粒子。检测空气或其它气体中的粒子的粒子计数器有时被称为"气 悬微粒计数器"。标准通常要求气悬微粒计数器监测流过传感器的气 体的总体积。监测流过传感器的气体的总体积的粒子计数器在微污染 产业中被称为"容积式的，，。微污染产业导致逐步形成了两种对环境 进行连续容积式气悬微粒监测的不同方法。 一种方法涉及使用气悬歧 管系统。使用该歧管系统允许单个粒子计数器顺序地监测一个环境中 的多个采样位置。这使得可在多个采样点之间分担粒子计数器、歧管 和系统真空泵的费用。该方法的主要缺陷在于，大的粒子沿着所需冗 长采样管道路线向下传输时的损耗。这是不可避免的，因为所有釆样 点都必须确定路线至该单个粒子计数器。 一些采样管线可能达到一百 英尺长以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于光学检测流动气体中悬浮的自由粒子的光学粒子传感器（１０６），所述光学粒子传感器包括：具有进气口（１１５）和排气口（１６２）的采样室（１３５）；让所述气体从所述进气口通过所述采样室流动到所述排气口的气流系统（１２０）；光源（１３４）；引导所述光穿过所述采样室的光学系统（３１０，３１９）；被设置以收集由流过所述采样室的所述气体中的所述粒子所散射的光的光学收集系统（３３０）；以及被设置以检测由所述光学收集系统所收集的光的检测系统（３４０），所述检测系统包括产生代表所述粒子的电信号的光学检测器（１４２）；所述光学粒子传感器的特征在于，整个所述气流系统中的总压力降为３英寸水柱或更小。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：T贝茨，
申请(专利权)人：粒子监测系统有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]