铬版表面膜层微小缺陷针孔的检测方法技术

本发明专利技术公开了一种铬版表面膜层微小缺陷针孔的检测方法，该方法包括如下步骤：建立标准样图；确定待测铬版的有效区；用智能工业摄像机以微米级精度准确移动并逐一连续不断地拍摄到所述有效区的每个部分；用智能工业摄像机将图片分成以每８平方毫米不少于２００万像素，并将每份像素分成２５６个亮度等级，得到高精度拍摄图片；将所获得的高精度拍摄图片与标准样图进行比较；对在测铬版的缺陷位置、个数、大小予以显示。本发明专利技术这种检测方法速度相当快，并且没有人眼视觉误差，非常准确并且对铬版没有污染，适用于大面积铬版表面膜层微小缺陷的检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光掩模基础材料一络版，尤其涉及对铬版表面膜层微小缺 陷针孔的检测方法。
技术介绍
铬版是用于制造光掩模的基础材料，它是用玻璃或人造石英玻璃基板经过研磨，抛光，清洗后用溅射或蒸发方法镀2—3层铬的化合物制造而成的。如果 膜层没有镀好就会产生针孔影响光掩模的质量。近年随着薄膜微电子技术的发展，特别是液晶显示器件(LCD)，薄膜晶体 管(TFT)，等离子显示器件(PDP)的发展使大尺寸的光掩膜(200mraX200mm以 上)的应用越来越大。因此对铬版的尺寸和品质要求越来越高，随着铬版的尺 寸扩大，对铬版主要微小缺陷针孔的检测越来越困难。以往的针孔检测方法， 检验人员用手持显微镜检测。如果要检测一块400mmX450mm的铬版的5um以上 的针孔要用50倍左右的显微镜每次检测大约40咖2的面积，检测一块铬版大约 需要8小时，而且带来严重污染，存在检测人员误差等。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种检测快速、准确并能适用于大面积铬版表面膜 层微小缺陷针孔的检测方法。本专利技术提供的这种，包括如下步骤(1) 建立标准样(2) 确定待测铬版的有效区；(3) 用智能工业本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种铬版表面膜层微小缺陷针孔的检测方法，包括如下步骤：　（１）建立标准样图；　（２）确定待测铬版的有效区；　（３）用智能工业摄像机以微米级精度准确移动并逐一连续不断地拍摄到所述有效区的每个部分；　（４）用智能工业摄像 机将步骤（３）获得的图片分成以每８平方毫米不少于２００万像素，并将每份像素分成２５６个亮度等级，得到高精度拍摄图片；（５）智能工业摄像机将步骤（４）获得的每份高精度拍摄图片与标准样图进行比较；　（６）对在测铬版的缺陷位置、个数、大小予 以显示。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈社城，丁峰，
申请(专利权)人：湖南普照信息材料有限公司，
类型：发明
国别省市：43[中国|湖南]