一种旋转式固晶装置及其工作方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种旋转式固晶装置，包括固晶臂、弹片和驱动装置，所述固晶臂安装有吸取晶片的吸嘴；所述驱动装置与固晶臂通过弹片形成转动副连接。本发明专利技术的旋转式固晶装置全部与电机刚性连接，速度快，精度高，由转动代替了直线移动，负载变小，无磨损，可长期保持高精度。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转式固晶装置及其工作方法
本专利技术涉及半导体固晶机
，具体涉及一种旋转式固晶装置及其工作方法。
技术介绍
固晶装置是固晶机的核心部件，随着固晶速度越来越快，以及对固晶的质量要求也越来越高，所以对固晶设备提出了更高的要求，既要求机器效率最大化，同时也要求机器长期保持精度不变化。一般的固晶装置已经满足不了加工需求，因此，需要更好的能够满足现代加工需求的固晶装置。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题，本专利技术提供一种旋转式固晶装置及其工作方法。本专利技术的技术方案是：一种旋转式固晶装置，包括固晶臂、弹片和驱动装置，所述固晶臂安装有吸取晶片的吸嘴；所述驱动装置与固晶臂通过弹片形成转动副连接。较佳地，所述弹片在驱动装置与固晶臂衔接处形成转动副连接。较佳地，所述驱动装置包括固晶旋转机构和固晶升降机构，所述弹片安装于固晶旋转机构的底部，用于连接固晶臂与固晶旋转机构，该固晶旋转机构可通过弹片带动固晶臂在水平方向转动；所述固晶升降机构安装于固晶旋转机构的侧壁，用于控制固晶臂上下摆动。较本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种旋转式固晶装置，其特征在于：包括固晶臂、弹片和驱动装置，所述固晶臂安装有吸取晶片的吸嘴；所述驱动装置通过弹片形成的转动副与固晶臂连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种旋转式固晶装置，其特征在于：包括固晶臂、弹片和驱动装置，所述固晶臂安装有吸取晶片的吸嘴；所述驱动装置通过弹片形成的转动副与固晶臂连接。


2.根据权利要求1所述的旋转式固晶装置，其特征在于：所述弹片在驱动装置与固晶臂衔接处形成转动副连接。


3.根据权利要求1所述的旋转式固晶装置，其特征在于：所述驱动装置包括固晶旋转机构和固晶升降机构，所述弹片安装于固晶旋转机构的底部，用于连接固晶臂与固晶旋转机构，该固晶旋转机构可通过弹片带动固晶臂在水平方向转动；所述固晶升降机构安装于固晶旋转机构的侧壁，用于控制固晶臂上下摆动。


4.根据权利要求3所述的旋转式固晶装置，其特征在于：所述固晶旋转机构包括旋转电机、旋转电机座、旋转座、轴承和摆动件，所述旋转电机安装于旋转电机座顶部，所述旋转座与旋转电机刚性连接，所述摆动件安装于旋转座底部并通过弹片与旋转座连接，该摆动件的另一端与固晶臂连接，所述轴承安装于摆动件上。


5.根据权利要求4所述的旋转式固晶装置，其特征在于：所述固晶升降机构包括升降电机、升降电机座、滑块、旋转轴和轴承夹持板，所述升降电机座固定于旋转电机座侧壁，所述升降电机安装于升降电机座上，所述滑块安装于升降电机座上，其对应的升降电机座上设有用于滑块移动的轨道；...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐文轩，曾智军，王平，
申请(专利权)人：深圳市微恒自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44