【技术实现步骤摘要】
翻转装置和真空镀膜设备
本专利技术涉及真空镀膜配套设备
，具体而言，涉及一种用于对真空镀膜设备的真空腔室内的盖板进行翻转的翻转装置。
技术介绍
真空镀膜设备的真空腔室内通常设置有盖板，盖板用于承载安装各种元器件，且为了保证真空镀膜设备的实用性，盖板的两侧表面上均需要安装元器件，为了便于元器件的安装，便需要盖板能够翻转。但是现有技术中的真空镀膜设备的盖板的结构尺寸和重量较大，其在翻转过程中具有很大的转动惯量，一旦盖板失去控制，其在自身重力作用下快速翻转很容易误伤操作人员，因此，现有的真空镀膜设备存在一定的使用安全隐患；那么如何提供一种能够对真空镀膜设备的盖板的翻转动作进行有效控制，同时能够对盖板进行可靠制动的翻转装置便成了现有技术中亟待解决的问题。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种翻转装置和真空镀膜设备，以解决现有技术中的真空镀膜设备的盖板的翻转动作难于控制且无法有效制动而存在一定安全隐患的问题。为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种翻转装置，包括：支撑架...
【技术保护点】
1.一种翻转装置，其特征在于，包括：/n支撑架(10)；/n承载结构(20)和枢转轴(30)，所述承载结构(20)用于安装元器件，所述枢转轴(30)包括第一枢转轴(31)和第二枢转轴(32)，所述承载结构(20)通过所述第一枢转轴(31)和所述第二枢转轴(32)可转动地设置在所述支撑架(10)上；/n驱动机构(40)，所述驱动机构(40)设置在所述支撑架(10)上并位于所述第一枢转轴(31)的位置处，所述驱动机构(40)与所述第一枢转轴(31)驱动连接，以驱动所承载结构(20)翻转；/n制动机构(50)，所述制动机构(50)设置在所述支撑架(10)上并位于所述第二枢转轴(3...
【技术特征摘要】
1.一种翻转装置，其特征在于，包括：
支撑架(10)；
承载结构(20)和枢转轴(30)，所述承载结构(20)用于安装元器件，所述枢转轴(30)包括第一枢转轴(31)和第二枢转轴(32)，所述承载结构(20)通过所述第一枢转轴(31)和所述第二枢转轴(32)可转动地设置在所述支撑架(10)上；
驱动机构(40)，所述驱动机构(40)设置在所述支撑架(10)上并位于所述第一枢转轴(31)的位置处，所述驱动机构(40)与所述第一枢转轴(31)驱动连接，以驱动所承载结构(20)翻转；
制动机构(50)，所述制动机构(50)设置在所述支撑架(10)上并位于所述第二枢转轴(32)的位置处，当所述枢转轴(30)的转动角加速度大于预设值时，所述制动机构(50)的制动件运动，以限制所述第二枢转轴(32)的转动，而对所述承载结构(20)的翻转动作紧急制动。
2.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，所述驱动机构(40)包括驱动电机(41)和行星齿轮组(42)，其中，所述行星齿轮组(42)包括：
齿圈(421)，所述齿圈(421)与所述支撑架(10)固定连接；
太阳轮(422)，所述太阳轮(422)与所述第一枢转轴(31)固定连接；
行星齿轮(423)，所述行星齿轮(423)设置在所述齿圈(421)内并同时与所述齿圈(421)和所述太阳轮(422)啮合，其中，所述驱动电机(41)与所述行星齿轮(423)驱动连接。
3.根据权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，所述行星齿轮(423)为多个，所述多个行星齿轮(423)绕所述太阳轮(422)的周向间隔设置，所述驱动电机(41)为多个，所述多个驱动电机(41)与所述多个行星齿轮(423)一一对应驱动连接。
4.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，所述制动机构(50)包括：
第一传动齿轮(51)，所述第一传动齿轮(51)与所述第二枢转轴(32)固定连接；
第二传动齿轮(52)和传动轴(53)，所述第二传动齿轮(52)与所述第一传动齿轮(51)啮合，所述第二传动齿轮(52)通过所述传动轴(53)可枢转地设置在所述支撑架(10)上，且所述第二传动齿轮(52)位于所述传动轴(53)的第一端；
棘轮组件(54)，所述棘轮组件(54)包括止动棘轮(541)和主动棘轮(542)，其中，所述止动棘轮(541)与所述支撑架(10)固定连接，所述止动棘轮(541)的内周壁形成有绕其周向依次分...
【专利技术属性】
技术研发人员：么曼实，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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