下载翻转装置和真空镀膜设备的技术资料

文档序号:26162726

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本发明提供了一种翻转装置,包括:支撑架;承载结构和枢转轴,承载结构用于安装元器件,枢转轴包括第一枢转轴和第二枢转轴,承载结构通过第一枢转轴和第二枢转轴可转动地设置在支撑架上;驱动机构,驱动机构设置在支撑架上并位于第一枢转轴的位置处,驱动机构...
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