晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的高精度定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的高精度定位装置，属于固定定位技术领域，包括底座，所述底座的顶端开设有滑槽B，所述滑槽B的表面滑动连接有连接柱，所述连接柱的底端滚动连接有滚轮，所述滚轮的下方固定安装有底板B，所述连接柱的一端插接在底板A的底端，所述底板A的上方开设有滑轨，所述滑轨的表面滑动连接有挡板A，所述挡板A的一端过盈连接有连杆，所述连杆滑动连接在滑槽A的内部，所述滑槽A开设在挡板B的内部。本实用新型专利技术通过安装的滑轨和连杆，能够使得挡板A和挡板B之间的距离可调，从而能够使得底板能够固定承接不同规格和大小的电机，使得电机的安装放置更加方便，从而提高使用效果。

【技术实现步骤摘要】
晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的高精度定位装置
本技术涉及固定定位
，尤其涉及晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的高精度定位装置。
技术介绍
晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)。由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆。衬底材料有硅、锗、GaAs、InP、GaN等。由于硅最为常用，如果没有特别指明晶体材料，通常指硅晶圆。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。传统的晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的定位装置在使用时具有以下几个缺点：1、传统的晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的定位装置在使用时无法对不同规格大小的电机进行固定，使得电机的固定较为麻烦。2、传统的晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的定位装置在使用时无法对电机的固定进行具有一定精度的调节，使得电机的安装容易出现偏差，从而使得电机的工作出现偏差。
技术实现思路
本技术提供晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的高精度定位装置，旨在通过安装的滑轨和连杆，能够使得挡板A和挡板B之间的距离可调，从而能够使得底板能够固定承接不同规格和大小的电机，使得电机的安装放置更加方便，从而提高使用效果。本技术提供的具体技术方案如下：本技术提供的晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的高精度定位装置，包括底座，所述底座的顶端开设有滑槽B，所述滑槽B的表面滑动连接有连接柱，所述连接柱的底端滚动连接有滚轮，所述滚轮的下方固定安装有底板B，所述连接柱的一端插接在底板A的底端，所述底板A的上方开设有滑轨，所述滑轨的表面滑动连接有挡板A，所述挡板A的一端过盈连接有连杆，所述连杆滑动连接在滑槽A的内部，所述滑槽A开设在挡板B的内部，所述挡板B的一侧开设有插孔B，所述插孔B的数量为多个，所述插孔B的一端插接有钉柱，所述钉柱的一端过盈连接有钉帽。可选的，所述底座的一侧开设有刻度纹，且所述刻度纹的单位为1cm。可选的，所述滚轮的一侧固定安装有锥钉，所述锥钉的数量为多个。可选的，所述底板B的表面开设有锥孔，且所述锥孔的数量为若干。可选的，所述连杆的一端开设有插孔A，且所述插孔A的大小与钉柱相同。本技术的有益效果如下：1、本技术通过安装的挡板A和挡板B，当安装电机时，可以将电机放置在底板A的表面，随后通过电机的规格和大小，调节挡板A和挡板B之间的距离，用手拽动挡板A，使得挡板A在滑轨的表面滑动，同时一端的连杆在滑槽A内部滑动，使得连杆从滑槽A内部滑出，从而增大了挡板A与挡板B之间的距离，而后将钉柱透过插孔B插接在插孔A的内部，由于开设的插孔B数量为多个，可以对不同的固定需求进行满足，而后完成了对连杆的固定，使得不同规格大小的电机能够固定放置在底板A的表面。2、本技术通过安装的底座，当电机的固定结束后，可以推动底板A，使得底板A在带动电机，通过底座底端的滚轮滚动，同时可以通过底座一侧的刻度纹对电机的移动距离进行把控，使得电机的固定安装能够变得更加精确，当滚轮滚动调节结束后，滚轮两侧的锥钉能够插接在底板B表面的锥孔内部，防止在工作使用时产生一定的滚动，使得电机的运转更加稳定。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例的晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的高精度定位装置的整体结构示意图；图2为本技术实施例的晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的高精度定位装置的底板A表面结构示意图；图3为本技术实施例的晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的高精度定位装置的锥孔结构示意图；图4为本技术实施例的晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的高精度定位装置的挡板B结构示意图；图5为本技术实施例的晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的高精度定位装置的钉柱结构示意图。图中：1、底座；2、刻度纹；3、底板A；4、挡板A；5、连杆；6、插孔A；7、滑槽A；8、挡板B；9、滑轨；10、滑槽B；11、钉帽；12、插孔B；13、钉柱；14、底板B；15、连接柱；16、滚轮；17、锥钉；18、锥孔。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。下面将结合图1～图5对本技术实施例的晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的高精度定位装置进行详细的说明。参考图1、图2和图5所示，本技术实施例提供的晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的高精度定位装置，包括底座1，所述底座1的顶端开设有滑槽B10，所述滑槽B10的表面滑动连接有连接柱15，所述连接柱15的底端滚动连接有滚轮16，所述滚轮16的下方固定安装有底板B14，所述连接柱15的一端插接在底板A3的底端，所述底板A3的上方开设有滑轨9，所述滑轨9的表面滑动连接有挡板A4，所述挡板A4的一端过盈连接有连杆5，所述连杆5滑动连接在滑槽A7的内部，所述滑槽A7开设在挡板B8的内部，所述挡板B8的一侧开设有插孔B12，所述插孔B12的数量为多个，所述插孔B12的一端插接有钉柱13，所述钉柱13的一端过盈连接有钉帽11，通过安装的滑轨和连杆，能够使得挡板A和挡板B之间的距离可调，从而能够使得底板能够固定承接不同规格和大小的电机，使得电机的安装放置更加方便，从而提高使用效果。参照图1所示，所述底座的一侧开设有刻度纹2，且所述刻度纹的单位为1cm，通过安装的刻度纹，可以通过刻度纹精确调节电机的移动距离。参照图1所示，所述滚轮16的一侧固定安装有锥钉17，所述锥钉17的数量为多个，通过安装的锥钉，能够使得锥钉插接在锥孔内部。参照图3所示，所述底板B14的表面开设有锥孔18，且所述锥孔18的数量为若干，通过安装的锥孔，使得锥钉能够插接在锥孔内部。参照图1和图4所示，所述连杆5的一端开设有插孔A6，且所述插孔A6的大小与钉柱13相同，通过安装的插孔A，能够使得钉柱插接在插孔A内部，从而完成连杆的固定。本技术实施例提供晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的高精度定位装置，当安装电机时，可以将电机放置在底板A3的表面，随后通过电机的规格和大小，调节挡板A4和挡板B8之间的距离，用手拽动挡板A4，使得挡板A4在滑轨9的表面滑动，同时一端的连杆5在滑槽A7内部滑动，使得连杆5从滑槽A8内部滑出，从而增大了挡板A4与挡板B8之间的距离，而后将钉柱13透过插孔B12插接在插孔A6的内部，由于开设的插孔B12数量为多个，可以对不同的固定需求进行满足，而后完成了对连杆5的固定，使得不同规格大小的电机能够固定放置在底板A本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的高精度定位装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的顶端开设有滑槽B(10)，所述滑槽B(10)的表面滑动连接有连接柱(15)，所述连接柱(15)的底端滚动连接有滚轮(16)，所述滚轮(16)的下方固定安装有底板B(14)，所述连接柱(15)的一端插接在底板A(3)的底端，所述底板A(3)的上方开设有滑轨(9)，所述滑轨(9)的表面滑动连接有挡板A(4)，所述挡板A(4)的一端过盈连接有连杆(5)，所述连杆(5)滑动连接在滑槽A(7)的内部，所述滑槽A(7)开设在挡板B(8)的内部，所述挡板B(8)的一侧开设有插孔B(12)，所述插孔B(12)的数量为多个，所述插孔B(12)的一端插接有钉柱(13)，所述钉柱(13)的一端过盈连接有钉帽(11)。/n

【技术特征摘要】
1.晶圆旋转式冲洗烘干过程中电机的高精度定位装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的顶端开设有滑槽B(10)，所述滑槽B(10)的表面滑动连接有连接柱(15)，所述连接柱(15)的底端滚动连接有滚轮(16)，所述滚轮(16)的下方固定安装有底板B(14)，所述连接柱(15)的一端插接在底板A(3)的底端，所述底板A(3)的上方开设有滑轨(9)，所述滑轨(9)的表面滑动连接有挡板A(4)，所述挡板A(4)的一端过盈连接有连杆(5)，所述连杆(5)滑动连接在滑槽A(7)的内部，所述滑槽A(7)开设在挡板B(8)的内部，所述挡板B(8)的一侧开设有插孔B(12)，所述插孔B(12)的数量为多个，所述插孔B(12)的一端插接有钉柱(13)，所述钉柱(13)的一端过盈连接有钉帽(11)。

【专利技术属性】
技术研发人员：田英干，
申请(专利权)人：嘉兴晶装电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33