【技术实现步骤摘要】
本技术涉及洁净度检测设备，特别是一种光散射式尘埃粒子测量仪的光学装置。
技术介绍
在先技术中，光散射式尘埃粒子测量仪的光学装置所采用的技术方案，如苏州净化设备厂吴俊民等人在1994年10月28日申请的技术专利“尘埃粒子计数器的光学传感器”(专利号为ZL94239551.4)，请参阅图1。它采用直角散射光学系统结构，其照明系统光轴、散射光收集系统光轴和气路系统轴线相交于光敏感区中心且两两垂直。其中的照明系统采用激光二极管1作为光源，激光二极管1发出的发散光束经过置于激光二极管1右侧的准直镜2准直和置于准直镜2右侧的柱面镜3在垂直于母线的方向上一维聚焦后，照射在通过旋转椭球面反射镜4的近焦点5，即光敏感区处的被测气流上，然后被前方的光陷阱6吸收。被测气流中的尘埃粒子发出的散射光被旋转椭球面反射镜4聚焦于其远焦点处，在该焦点处设置的光电倍增管7将光散射脉冲信号转换成电脉冲信号。上述在先技术的缺点是1、在上述装置中，没有调整柱面镜母线方向与激光二极管发出的椭圆形光束截面的长轴方向的夹角关系，因此造成光敏感区的照明强度均匀性差，进而造成粒子测量仪粒径分辨率不高。2、采用的...
【技术保护点】
一种光散射式尘埃粒子测量仪的光学装置，包括照明系统、散射光收集系统、气路系统，其特征在于： ①一发出平行激光束的激光光源组件（１３），在该激光光源组件（１３）发出的光束前进的方向上，依次设有柱面镜（３）、球面反射镜（８）和光陷阱（６），该激光光源组件（１３）输出的椭圆形光束的截面的长轴方向与柱面镜（３）母线成一定角度φ，其角度范围在２０°～８０°之间； ②置于柱面镜（３）右侧的球面反射镜（８），且光敏感区（５）和光电探测器（１４）光敏面的位置分别在球面反射镜（８）球心附近的两侧，并满足几何光学的物像关系； ③在光电探测器（１４）和光敏感区（５）之间置有与光...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄惠杰，梁春雷，任冰强，赵永凯，程兆谷，钱红斌，杜龙龙，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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