一种反射率测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种对反射率测量装置的改进。它由真空室、底板、支架、电机、蜗轮副、多层膜反射镜、电机、蜗轮副、随动摇臂、电机、蜗轮副、样品架、电机、蜗轮副、探测器架、探测器、电机、蜗轮副、样品组成，根据多层膜反射镜的布拉格分光原理，采用单块多层膜反射镜作为单色器的分光元件，通过随动摇臂构成双重二倍角机构，将单色器波长扫描机构和反射率计角度扫描机构放置在一个真空室内，与已有技术相对比具有系统小巧、结构简单、便于调试、价格低廉的特点。（*该技术在2009年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学
，涉及一种对反射率测量装置的改进。目前，国内外已有的反射率测量装置的单色器色散元件大多采用衍射光栅，其特点是衍射光栅出射光的位置固定不变，反射率计的位置也是固定不变的，在结构上均是由单色器和反射率计两个相互独立的部分连接组成，由于大多数采用光栅单色器或双多层膜单色器，因此造成其系统庞大、结构复杂、调试困难、造价昂贵。本专利技术的目的是解决系统庞大、结构复杂、调试困难，提供一种系统小巧、结构简单、调试方便、造价便宜的反射率测量装置。本专利技术的内容本装置是由真空室1、底板2、支架3、电机4、蜗轮副5、多层膜反射镜6、电机7、蜗轮副8、随动摇臂9、电机10、蜗轮副11、样品架12、电机13、蜗轮副14、探测器架15、探测器16、电机17、蜗轮副18、样品19组成；底板2固定在真空室1上，支架3、电机4、电机7均固定在底板2上，蜗轮副5、多层膜反射镜6、蜗轮副8、随动摇臂9均由支架3支撑，且蜗轮副5与多层膜反射镜6相固定，蜗轮副8与随动摇臂9相固定，电机10、电机13固定于随动摇臂9上，蜗轮副11、样品架12、蜗轮副14、探测器架15均由随动摇臂9支撑，且蜗轮副11与样品架12相固定，蜗轮副14与探测器架15相固定，电机17固定在样品架12上，蜗轮副18、样品19由样品架12支撑，探测器16固定在探测器架15上。本专利技术动态工作过程电机4通过蜗轮副5驱动多层膜反射镜6，绕多层膜反射镜6的镜面旋转；电机7通过蜗轮副8驱动随动摇臂9，从而带动随动摇臂9、电机10、蜗轮副11、样品架12、电机13、蜗轮副14、探测器架15、探测器16、电机17、蜗轮副18、样品19共同绕多层膜反射镜6的镜面旋转；电机10通过蜗轮副11驱动样品架12，从而带动样品架12、电机17、电机18、样品19绕样品19的镜面旋转；电机13通过蜗轮副14驱动探测器架15，从而带动探测器16绕样品19的镜面旋转；电机17通过蜗轮副18驱动样品19转动实现多块样品19的切换。本专利技术的积极效果本专利技术采用了单块多层膜反射镜作为分光元件而使得已有技术的单色器系统大大简化，同时使光学系统传输效率及光通量大大增加。根据多层膜反射镜的布拉格分光原理，将单色器波长扫描机构和反射率计角度扫描机构放置在一个真空室内，通过随动摇臂形成一个统一的双重二倍角复合机构，与已有技术相对比不仅简化了在线调光过程，缩短了调光周期，与相同精度的常规反射率计相比大大降低了工程造价，并且系统小巧、结构简单、便于调试。本专利技术的附图说明图1是本专利技术的结构原理图本专利技术的实施例如图1所示真空室1、底板2、支架3、随动摇臂9均采用不锈钢材料；蜗轮副5、蜗轮副8、蜗轮副11、蜗轮副14、蜗轮副18中的蜗杆用不锈钢淬火磨削而成，蜗轮用铝青铜制成；样品架12、探测器架15、探测器16采用铝合金材料；电机4、电机7、电机10、电机13、电机17采用市售步进电机并按高真空要求进行清洗；探测器16为市售探测器；多层膜反射镜6为工作在特定检测波长的多层膜反射镜；样品19为待测样品。权利要求1.一种对反射率测量装置，它包括真空室1、底板2、样品架12、探测架15、探测器16、样品19，其特征在于底板2固定在真空室1上，支架3、电机4、电机7均固定在底板2上，蜗轮副5、多层膜反射镜6、蜗轮副8、随动摇臂9均由支架3支撑，且蜗轮副5与多层膜反射镜6相固定，蜗轮副8与随动摇臂9相固定，电机10、电机13固定于随动摇臂9上，蜗轮副11、样品架12、蜗轮副14、探测器架15均由随动摇臂9支撑，且蜗轮副11与样品架12相固定，蜗轮副14与探测器架15相固定，电机17固定在样品架12上，蜗轮副18、样品19由12支撑，探测器16固定在探测器架15上。专利摘要本专利技术涉及一种对反射率测量装置的改进。它由真空室、底板、支架、电机、蜗轮副、多层膜反射镜、电机、蜗轮副、随动摇臂、电机、蜗轮副、样品架、电机、蜗轮副、探测器架、探测器、电机、蜗轮副、样品组成,根据多层膜反射镜的布拉格分光原理,采用单块多层膜反射镜作为单色器的分光元件,通过随动摇臂构成双重二倍角机构,将单色器波长扫描机构和反射率计角度扫描机构放置在一个真空室内,与已有技术相对比具有系统小巧、结构简单、便于调试、价格低廉的特点。文档编号G01N21/55GK2399724SQ99250600公开日2000年10月4日 申请日期1999年12月10日 优先权日1999年12月10日专利技术者薛松 申请人:中国科学院长春光学精密机械研究所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种对反射率测量装置，它包括真空室１、底板２、样品架１２、探测架１５、探测器１６、样品１９，其特征在于：底板２固定在真空室１上，支架３、电机４、电机７均固定在底板２上，蜗轮副５、多层膜反射镜６、蜗轮副８、随动摇臂９均由支架３支撑，且蜗轮副５与多层膜反射镜６相固定，蜗轮副８与随动摇臂９相固定，电机１０、电机１３固定于随动摇臂９上，蜗轮副１１、样品架１２、蜗轮副１４、探测器架１５均由随动摇臂９支撑，且蜗轮副１１与样品架１２相固定，蜗轮副１４与探测器架１５相固定，电机１７固定在样品架１２上，蜗轮副１８、样品１９由１２支撑，探测器１６固定在探测器架１５上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：薛松，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：21[中国|辽宁]