【技术实现步骤摘要】
用于处理基板的装置本申请是申请号为201510290660.2,申请日为2015年5月29日,专利技术创造名称为“用于处理基板的装置”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术构思的示例性实施方式涉及用于处理基板的装置,并且更具体地,涉及用于清洗基板的基板处理装置。
技术介绍
在基板的表面上残留的污染物质(例如,颗粒、有机污染物以及金属污染物)导致半导体器件的电特性劣化且产品收得率降低。因此,在半导体制造过程期间,可在半导体制造过程的每个单步之前和/或之后执行清洗过程以从基板表面除去污染物质。通常,清洗基板的过程可以包括化学处理过程、漂洗过程、以及干法,在化学处理过程中,使用化学品从基板去除在基板上残留的金属材料、有机材料或颗粒;在漂洗工艺中,使用去离子水去除在基板上残留的化学品;在干法中,有机溶剂、氮气等被用于使基板干燥。在韩国专利公开第2012-0056620号中公开了用于清洗过程的传统设备。该设备包括用于收集各种处理溶液的器皿和设置在器皿中的基板支撑构件。设备的器皿被设置成具有平滑的内侧面。然而,使用这种器皿可能会导致基板的二次污染。例如,提供的用于清洗基板的化学溶液因离心力与器皿内侧面碰撞然后被弹回从而污染基板。此外,与器皿碰撞的一小部分化学溶液可能形成朝向基板向下移动的大液滴然后与朝向器皿移动的其他化学溶液碰撞。一小部分碰撞的化学溶液可能落到基板上,这会导致基板污染。
技术实现思路
本专利技术构思的示例性实施方式提供了基板处理装置,该基板处理装置被配置为当在基板清洗过程中 ...
【技术保护点】
1.一种基板处理装置,包括:/n器皿,被配置为在其中提供处理空间;/n基板支撑单元,设置在所述器皿中以支撑基板;/n喷射构件,被配置为在被加载在所述基板支撑单元上的所述基板上喷射处理溶液,以清洗所述基板;以及/n提升单元,被配置为根据供应到所述基板上的所述处理溶液的种类改变所述器皿相对于所述基板支撑单元的垂直位置,以允许所述处理溶液流入多个收集瓶中的预定一个收集瓶,/n其中,所述器皿具有内侧面,在所述内侧面上形成有至少一个纹理图案;/n其中,所述器皿包括所述多个收集瓶,所述多个收集瓶具有在垂直方向上位于不同水平高度的入口,/n所述至少一个纹理图案设置在所述收集瓶中每一个的内侧面上;/n其中,所述至少一个纹理图案被设置成具有线性形状;/n其中,所述至少一个纹理图案包括多个纹理图案,其中一些纹理图案被设置成彼此具有相同的深度;或者,其中一些纹理图案被设置成具有至少两种不同的深度;/n其中,所述至少一个纹理图案包括多个纹理图案,其中一些纹理图案被设置成以至少两种不同的距离彼此间隔开。/n
【技术特征摘要】
20140529 KR 10-2014-00653891.一种基板处理装置,包括:
器皿,被配置为在其中提供处理空间;
基板支撑单元,设置在所述器皿中以支撑基板;
喷射构件,被配置为在被加载在所述基板支撑单元上的所述基板上喷射处理溶液,以清洗所述基板;以及
提升单元,被配置为根据供应到所述基板上的所述处理溶液的种类改变所述器皿相对于所述基板支撑单元的垂直位置,以允许所述处理溶液流入多个收集瓶中的预定一个收集瓶,
其中,所述器皿具有内侧面,在所述内侧面上形成有至少一个纹理图案;
其中,所述器皿包括所述多个收集瓶,所述多个收集瓶具有在垂直方向上位于不同水平高度的入口,
所述至少一个纹理图案设置在所述收集瓶中每一个的内侧面上;
其中,所述至少一个纹理图案被设置成具有线性形状;
其中,所述至少一个纹理图案包括多个纹理图案,其中一些纹理图案被设置成彼此具有相同的深度;或者,其中一些纹理图案被设置成具有至少两种不同的深度;
其中,所述至少一个纹理图案包括多个纹理图案,其中一些纹理图案被设置成以至少两种不同的距离彼此间隔开。
2.根据权利要求1所述的基板处理装置,其中,所述至少一个纹理图案包括设置成垂直于水平面并平行于垂直方向的垂直纹理图案。
3.根据权利要求1所述的基板处理装置,其中,所述至少一个纹理图案包括多个纹理图案,其中一些纹理图案被设置成以均匀距离彼此间隔开。
4.根据权利要求1所述的基板处理装置,其中,所述至少一个纹理图案被设置成雕刻形状。
5.根据权利要求1所述的基板处理装置,其中,所述至少一个纹理图案被设置成浮雕形状。
6.根据权利要求1所述的基板处理装置,其中,所述至少一个纹理图案包括在所述器皿的所述内侧面上沿着所述器皿的周向设置的多个纹理图案。
7.根据权利要求6所述的基板处理装置,其中,所述至少一个纹理图案包括设置成垂直于水平面并平行于垂直方向的垂直纹理图案。
8.一种基板处理装置,包括:
器皿,被配置为在其中提供处理空间;
基板支撑单元,设置在所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:宋吉勋,崔起龙,崔荣哲,朴贵秀,朴善用,
申请(专利权)人:细美事有限公司,三星电子株式会社,
类型:发明
国别省市:韩国;KR
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