一种悬挂式晶圆载具制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体加工技术领域，且公开了一种悬挂式晶圆载具，包括载具本体，所述载具本体的外表面固定套接有防护壳，所述载具本体顶部的两侧均固定安装有竖杆，所述竖杆的顶端贯穿防护壳并延伸至防护壳的上方。该悬挂式晶圆载具，通过设置防护壳、竖杆和吊环，由于防护壳的设计，将会提高了对载具本体整体的防护效果，从而降低了外界碰撞对载具本体所产生的不利影响，同时由于竖杆和吊环之间的配合，使得载具本体整体便于悬挂，此时载具本体整体将会分别受到拉力和重力作用，而产生受力平衡，使其在长期使用的过程中不易发生弯曲变形，便于操作人员的使用，因此增加了该晶圆载具的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种悬挂式晶圆载具
本技术涉及半导体加工
，具体为一种悬挂式晶圆载具。
技术介绍
晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底也叫基片，它由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆，晶圆是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，因此对应的就是硅晶圆。目前，企业在生产加工晶圆之后，经常需要利用到相对应的载具来对其进行放置，而现有的晶圆载具在实际使用的过程中，尽管可以实现对晶圆的放置作用，但是其自身缺乏相对应的防护结构，从而容易受到外界碰撞而发生弯曲变形，进而不利于操作人员的长期使用，因此需要对其进行改进。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种悬挂式晶圆载具，具备不易变形的优点，解决了现有的晶圆载具在实际使用的过程中，尽管可以实现对晶圆的放置作用，但是其自身缺乏相对应的防护结构，从而容易受到外界碰撞而发生弯曲变形，进而不利于操作人员长期使用的问题。本技术提供如下技术方案：一种悬挂式晶圆载具，包括载具本体，所述载具本体的外表面固定套接有防护壳，所述载具本体顶部的两侧均固定安装有竖杆，所述竖杆的顶端贯穿防护壳并延伸至防护壳的上方，所述竖杆的顶端固定安装有位于防护壳上方的吊环，所述载具本体的内部开设有空腔，所述载具本体正面的中部固定连通有通管，所述通管的另一端贯穿防护壳并延伸至防护壳的外部，所述防护壳顶端的中部开设有顶口。优选的，所述载具本体的内部开设有位于空腔上方的竖口，所述竖口与空腔相互连通，所述载具本体的顶部固定安装有位于顶口内部和竖口正上方的固定块。优选的，所述竖口的数量与固定块的数量相同，且竖口的内部呈现为圆形。优选的，所述固定块的内部活动套接有晶圆本体，所述晶圆本体的底部与载具本体的顶部活动连接。优选的，所述吊环的数量为两个，两个所述吊环的尺寸相同，两个所述吊环彼此之间关于载具本体中心对称。与现有技术对比，本技术具备以下有益效果：1、该悬挂式晶圆载具，通过设置防护壳、竖杆和吊环，由于防护壳的设计，将会提高了对载具本体整体的防护效果，从而降低了外界碰撞对载具本体所产生的不利影响，同时由于竖杆和吊环之间的配合，使得载具本体整体便于悬挂，此时载具本体整体将会分别受到拉力和重力作用，而产生受力平衡，使其在长期使用的过程中不易发生弯曲变形，便于操作人员的使用，因此增加了该晶圆载具的实用性。2、该悬挂式晶圆载具，通过设置竖口和固定块，由于固定块的设计，从而方便了操作人员对晶圆本体进行放置与定位，从而保证了晶圆本体底端的中部位于竖口的正上方，同时由于晶圆本体两侧的顶部位于固定块的上方，也会方便了操作人员从固定块的内部取出晶圆本体，而多个竖口和固定块，将会加大了晶圆本体的承载数量，因此进一步的增加了该晶圆载具的实用性。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术的剖视结构示意图；图3为本技术的俯视结构示意图；图4为本技术A处的局部放大结构示意图。图中：1、载具本体；2、防护壳；3、竖杆；4、吊环；5、空腔；6、通管；7、顶口；8、竖口；9、固定块；10、晶圆本体。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，一种悬挂式晶圆载具，包括载具本体1，载具本体1的外表面固定套接有防护壳2，载具本体1的内部开设有位于空腔5上方的竖口8，竖口8的数量与固定块9的数量相同，且竖口8的内部呈现为圆形，竖口8与空腔5相互连通，载具本体1的顶部固定安装有位于顶口7内部和竖口8正上方的固定块9，固定块9的内部活动套接有晶圆本体10，晶圆本体10的底部与载具本体1的顶部活动连接，载具本体1顶部的两侧均固定安装有竖杆3，竖杆3的顶端贯穿防护壳2并延伸至防护壳2的上方，竖杆3的顶端固定安装有位于防护壳2上方的吊环4，吊环4的数量为两个，两个吊环4的尺寸相同，两个吊环4彼此之间关于载具本体1中心对称，载具本体1的内部开设有空腔5，载具本体1正面的中部固定连通有通管6，真空泵的抽气端可以利用软管与通管6相套接，通管6的另一端贯穿防护壳2并延伸至防护壳2的外部，防护壳2顶端的中部开设有顶口7。工作时，操作人员首先利用两个吊环4来对载具本体1整体进行悬挂，然后将晶圆本体10放入至固定块9的内部，此时晶圆本体10底端的中部位于竖口8的正上方，然后操作人员将真空泵的抽气端与通管6相连接，当真空泵运行时，将会通过通管6抽取空腔5内部的气体，使其内部呈现为负压状态，从而使得晶圆本体10可以牢固的安置在固定块9的内部，同时由于防护壳2的设计，将会对载具本体1整体起到了良好的防护作用，降低了外界碰撞所产生的不利影响。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种悬挂式晶圆载具，包括载具本体(1)，其特征在于：所述载具本体(1)的外表面固定套接有防护壳(2)，所述载具本体(1)顶部的两侧均固定安装有竖杆(3)，所述竖杆(3)的顶端贯穿防护壳(2)并延伸至防护壳(2)的上方，所述竖杆(3)的顶端固定安装有位于防护壳(2)上方的吊环(4)，所述载具本体(1)的内部开设有空腔(5)，所述载具本体(1)正面的中部固定连通有通管(6)，所述通管(6)的另一端贯穿防护壳(2)并延伸至防护壳(2)的外部，所述防护壳(2)顶端的中部开设有顶口(7)。/n

【技术特征摘要】
1.一种悬挂式晶圆载具，包括载具本体(1)，其特征在于：所述载具本体(1)的外表面固定套接有防护壳(2)，所述载具本体(1)顶部的两侧均固定安装有竖杆(3)，所述竖杆(3)的顶端贯穿防护壳(2)并延伸至防护壳(2)的上方，所述竖杆(3)的顶端固定安装有位于防护壳(2)上方的吊环(4)，所述载具本体(1)的内部开设有空腔(5)，所述载具本体(1)正面的中部固定连通有通管(6)，所述通管(6)的另一端贯穿防护壳(2)并延伸至防护壳(2)的外部，所述防护壳(2)顶端的中部开设有顶口(7)。


2.根据权利要求1所述的一种悬挂式晶圆载具，其特征在于：所述载具本体(1)的内部开设有位于空腔(5)上方的竖口(8)，所述竖口(8)...

【专利技术属性】
技术研发人员：宣荣卫，吕俊，
申请(专利权)人：艾华无锡半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32