一种晶圆自动上片用料仓制造技术

本实用新型专利技术属于晶圆上片技术领域，提供了一种晶圆自动上片用料仓，包括安装板，安装板上滑动安装有驱动装置驱动的料筐，料筐两内侧均设有若干载具托板，对应设置的两载具托板间形成用以放置上片载具的放置位，料筐的一端还固定安装有若干与载具托板对应设置的挡块；上片载具包括托盘和卡装于托盘内的料盘，托盘上设有若干用以实现料盘定位的定位销以及用以实现料盘固定的夹持机构，托盘上还开设有起盘孔，上片载具通过托盘滑动安装于对应设置的两载具托板之间。本实用新型专利技术能够实现自动上片设备的载具供给，相较传统的人工于自动上片设备内取放料盘的方式，不但实现了人工劳动力的有效替代，且为晶圆高效、有序的自动上片提供了可靠保障。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆自动上片用料仓
本技术涉及晶圆上片
，尤其涉及一种晶圆自动上片用料仓。
技术介绍
晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆在生产加工过程中，依据加工工艺需求，需要进行晶圆的ICP刻蚀加工，ICP刻蚀工艺前，通常需要将晶圆排列放置到料盘内，此过程称为晶圆的上片，以便于在刻蚀加工时，将承载有晶圆的整个料盘放入等离子刻蚀机中进行刻蚀加工。目前，晶圆于料盘内的上片操作，通常由人工完成，人工上片劳动强度大，上片效率低，且在上片过程中，由于上片人员操作不细心等各种主观原因，易划伤晶圆，导致晶圆直接报废或降级处理，直接影响晶圆的生产质量及产品合格率；虽然目前也有部分用于晶圆上片的上片设备，但多无专用于储放料盘的料仓，因而无法实现晶圆的自动化上片，上片时，需人工将料盘放置到上片设备的加工平台，上片完成后，再由上片工人将上片完成后的料盘，从上片设备上取下，人工取放料盘不但费时费力，成本高，且影响晶圆的上片效率，此外，目前的料盘结构，不具备在上片设备中自动上片的使用需求。因此，开发一种晶圆自动上片用料仓，不但具有迫切的研究价值，也具有良好的经济效益和工业应用潜力，这正是本技术得以完成的动力所在和基础。
技术实现思路
为了克服上述所指出的现有技术的缺陷，本专利技术人对此进行了深入研究，在付出了大量创造性劳动后，从而完成了本技术。具体而言，本技术所要解决的技术问题是：提供一种晶圆自动上片用料仓，以解决目前晶圆上片时人工取放料盘费时费力，成本高的技术问题。<br>为解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种晶圆自动上片用料仓，包括安装板，所述安装板沿竖直方向滑动安装有驱动装置驱动的料筐，所述料筐两内侧均设有若干载具托板，且若干所述载具托板两两对应设置，对应设置的两所述载具托板间形成用以放置上片载具的放置位，所述载具托板的一端还固定安装有用以实现上片载具插装限位的挡块；所述上片载具包括托盘和卡装于所述托盘内的料盘，所述托盘上设有若干用以实现所述料盘定位的定位销以及用以实现所述料盘固定的夹持机构，所述托盘上还开设有便于将所述料盘从所述托盘内顶出的起盘孔，所述上片载具通过所述托盘滑动安装于对应设置的两所述载具托板之间。作为一种改进的技术方案，所述安装板上固定安装有若干轴套，所述安装板的下方设有滑杆安装板，所述滑杆安装板上固定安装有若干与所述轴套对应设置的导向滑杆，所述导向滑杆通过所述轴套贯穿所述安装板，且顶端分别与所述料筐固定连接。作为一种改进的技术方案，所述驱动装置包括电动推缸，所述电动推缸固定安装于所述安装板下方，且所述电动推缸的推杆贯穿所述安装板，与所述料筐固定连接。作为一种改进的技术方案，所述料筐的一侧设有若干按钮指示开关，所述按钮指示开关分别与所述载具托板对应设置。作为一种改进的技术方案，所述料筐的一端设有两用以检测所述上片载具到位放置的光电开关，两所述光电开关分别于所述料筐的顶部和底部对应设置。作为一种改进的技术方案，所述托盘的边角位置处均开设有托盘定位孔，所述托盘的一侧开设有与所述料盘相适配的容纳槽，所述容纳槽的槽壁沿周向均匀开设有若干第一定位槽，所述定位销分别插装于所述第一定位槽内。作为一种改进的技术方案，所述料盘包括载片板和适配盖合于所述载片板上的盖板，所述载片板上均匀开设有若干用以放置晶圆的晶圆放置槽，且所述载片板的外周壁开设有与所述第一定位槽对应设置的第二定位槽，所述料盘通过所述第二定位槽、所述定位销定位卡装于所述容纳槽内。作为一种改进的技术方案，所述夹持机构分别沿所述容纳槽的周向排列设置，所述夹持机构包括锁紧块、压缩弹簧和压片，所述托盘上开设有与所述容纳槽相接的安装槽，所述锁紧块滑动安装于所述安装槽内，所述压缩弹簧位于所述锁紧块与所述托盘之间，所述压片固定安装于所述托盘上，且与所述安装槽形成容纳所述锁紧块和所述压缩弹簧的腔体，在所述压缩弹簧的作用下，所述锁紧块靠近所述容纳槽的一端延伸至所述容纳槽内。作为一种改进的技术方案，所述安装槽低于所述容纳槽设置，与所述容纳槽形成用以实现所述锁紧块滑动限位的限位挡沿。作为一种改进的技术方案，所述锁紧块靠近所述容纳槽的一端顶部为倾斜面结构。作为一种改进的技术方案，所述托盘的中间位置开设有通气孔，所述容纳槽的底面开设有泄压槽。作为一种改进的技术方案，所述载片板上开设有定位孔，所述盖板上具有与所述晶圆放置槽对应设置的压沿以及与所述定位孔对应设置的定位凸起，所述盖板通过所述定位凸起、所述定位孔适配盖合于所述载片板上。采用了上述技术方案后，本技术的有益效果是：（1）该晶圆自动上片用料仓，安装板固定安装于自动上片设备的机架上，实现于自动上片设备上的安装使用，在电动推缸的驱动作用下，实现料筐升降；进行晶圆上片时，自动上片设备的载具取放装置将料筐内的上片载具送至上片工位进行晶圆上片，上片完成后，再由载具取放装置将上片完成的上片载具原位放回至料筐内，然后电动推缸驱动料筐上升/下降一个高度，进行下一个上片载具的上片，如此，实现为自动上片设备的自动供料，相较传统的人工于自动上片设备内取放料盘的方式，不但实现了人工劳动力的有效替代，且为晶圆高效、有序的自动上片提供了可靠保障。（2）设有的轴套及导向滑杆，导向滑杆于轴套内限位滑动，确保料筐于竖直方向上的平稳升降；料筐设有的载具托板及载具托板上固定安装有的挡块，放置空上片载具时，将上片载具沿着两载具托板形成的滑轨推入，至上片载具抵靠挡板即可，需要取出上片完成的上片载具时，直接将上片载具从料筐内抽出即可，取放操作简单方便。（3）料筐一侧设有的按钮指示开关，与自动上片设备的控制器相连，当将空上片载具于料筐内放置后，按下相对应的按钮指示开关，控制器接收料位信息，实现对放置的空上片载具的自动上片操作。（4）料筐一端设有的光电开光，用以检测上片载具放置到位与否，若上片载具放置不到位，端部露出至料筐外，光电开关检测到上片载具，则为放置不到位，以提示工作人员重新放置，通过光电开关对上片载具放置的检测，确保上片载具放置到位，进而确保后续的晶圆上片有序进行。（5）料盘卡装于托盘内形成的该上片载具，料盘不但实现了于托盘内的精准定位及牢固卡装，且卡装及取出操作简单方便，为在自动上片设备中进行晶圆上片使用提供了便利；进行晶圆上片时，整个上片载具输送进自动上片设备内，先将上片载具的料盘盖板取下，托盘通过托盘定位孔实现于自动上片设备机架上的定位，从而实现载片板的定位，便于将晶圆精确放置到相应的晶圆放置槽内，晶圆依次放置完毕后，重新盖上盖板并旋上固定螺丝固定，晶圆上片完成，上片完成后的上片载具，从自动上片设备内输送出后，利用顶起工装将装有晶圆的料盘从托盘内顶出即可。（6）设有的该托盘，通过第一定位槽安装的定位销，便于料盘于托盘内放置时的定位，防止料盘转动，夹持机构实现料盘的卡紧固定，能够防止料盘脱出，托盘上开设的起盘孔，晶圆于料盘内上片完成后，便于将料盘从托盘内顶出本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆自动上片用料仓，其特征在于：包括安装板，所述安装板沿竖直方向滑动安装有驱动装置驱动的料筐，所述料筐两内侧均设有若干载具托板，且若干所述载具托板两两对应设置，对应设置的两所述载具托板间形成用以放置上片载具的放置位，所述载具托板的一端还固定安装有用以实现上片载具插装限位的挡块；/n所述上片载具包括托盘和卡装于所述托盘内的料盘，所述托盘上设有若干用以实现所述料盘定位的定位销以及用以实现所述料盘固定的夹持机构，所述托盘上还开设有便于将所述料盘从所述托盘内顶出的起盘孔，所述上片载具通过所述托盘滑动安装于对应设置的两所述载具托板之间。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆自动上片用料仓，其特征在于：包括安装板，所述安装板沿竖直方向滑动安装有驱动装置驱动的料筐，所述料筐两内侧均设有若干载具托板，且若干所述载具托板两两对应设置，对应设置的两所述载具托板间形成用以放置上片载具的放置位，所述载具托板的一端还固定安装有用以实现上片载具插装限位的挡块；
所述上片载具包括托盘和卡装于所述托盘内的料盘，所述托盘上设有若干用以实现所述料盘定位的定位销以及用以实现所述料盘固定的夹持机构，所述托盘上还开设有便于将所述料盘从所述托盘内顶出的起盘孔，所述上片载具通过所述托盘滑动安装于对应设置的两所述载具托板之间。


2.如权利要求1所述的晶圆自动上片用料仓，其特征在于：所述安装板上固定安装有若干轴套，所述安装板的下方设有滑杆安装板，所述滑杆安装板上固定安装有若干与所述轴套对应设置的导向滑杆，所述导向滑杆通过所述轴套贯穿所述安装板，且顶端分别与所述料筐固定连接。


3.如权利要求2所述的晶圆自动上片用料仓，其特征在于：所述驱动装置包括电动推缸，所述电动推缸固定安装于所述安装板下方，且所述电动推缸的推杆贯穿所述安装板，与所述料筐固定连接。


4.如权利要求3所述的晶圆自动上片用料仓，其特征在于：所述料筐的一侧设有若干按钮指示开关，所述按钮指示开关分别与所述载具托板对应设置。


5.如权利要求4所述的晶圆自动上片用料仓，其特征在于：所述料筐的一端设有两用以检测所述上片载具到位放置的光电开关，两所述光电开关分别于所述料筐的顶部和底部对应设置。


6.如权利要求1-5任一项所述的晶圆自动上片用料仓，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭明灿，李凯杰，赵成浩，王子龙，
申请(专利权)人：山东元旭光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37