一种基片承载装置和清洗设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基片承载装置，包括基片固定组件和基片支撑组件，基片固定组件包括间隔设置的多个定位部，任意相邻两个定位部之间具有定位间隔，定位间隔用于插入基片；基片支撑组件位于基片固定组件下方，基片支撑组件用于在基片插入定位间隔时，托住基片。本发明专利技术通过定位间隔的侧面贴扶功能与基片支撑组件的底部托举功能共同实现承载基片，从而使得该基片承载装置能够同时承载多种不同规格尺寸的基片，提高了在机台之间转移基片的效率。本发明专利技术还提供一种清洗设备。

【技术实现步骤摘要】
一种基片承载装置和清洗设备
本专利技术涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种基片承载装置和清洗设备。
技术介绍
在半导体工艺中，基片的清洗方式通常分为单片清洗和多片清洗，多片清洗是指将基片装入基片承载装置(如，花篮)中，并将基片承载装置整体放入清洗槽，通过化学药液去除基片表面的颗粒等杂质。
技术实现思路
本专利技术旨在提供一种基片承载装置和清洗设备，该基片承载装置能够同时承载多种不同规格尺寸的基片，提高在机台之间转移基片的效率。为实现上述目的，作为本专利技术的一个方面，提供一种基片承载装置，包括基片固定组件和基片支撑组件，所述基片固定组件包括间隔设置的多个定位部，任意相邻两个所述定位部之间具有定位间隔，所述定位间隔用于插入基片；所述基片支撑组件位于所述基片固定组件下方，所述基片支撑组件用于在所述基片插入所述定位间隔时，托住所述基片。优选地，每个所述定位部均包括相互连接的第一定位条和第二定位条，且每根所述第一定位条均沿第一方向延伸，每根所述第二定位条均沿第二方向延伸，所述第一方向与所述第二方向不同；任意相邻两根所述第一定位条之间形成有第一间隔、任意相邻两根所述第二定位条之间形成有第二间隔，多个所述第一间隔与多个所述第二间隔一一对应连通并形成为多个所述定位间隔。优选地，所述基片固定组件还包括多对基片固定机构，每对所述基片固定机构分别设置在相互连通的所述第一间隔和所述第二间隔中，且所述基片固定机构能够沿所述定位间隔运动，所述基片固定机构用于固定所述基片。r>优选地，所述基片固定机构包括固定件和固定螺钉，所述固定件包括相互连接的第一固定块和第二固定块，所述第一固定块上形成有开口槽和紧定通孔，所述第二固定块上形成有螺纹通孔，所述第一固定块和所述第二固定块分别位于所述定位间隔所对应的定位条的上侧和下侧，所述固定螺钉依次穿过所述紧定通孔和所述螺纹通孔，且所述固定螺钉的螺纹段与所述螺纹通孔配合，所述开口槽用于卡住所述基片。优选地，每根所述第一定位条的第一端与相应的所述第二定位条的第一端连接，所述基片固定组件还包括两根固定条，多根所述第一定位条的第二端均与其中一根所述固定条固定连接，多根所述第二定位条的第二端均与另一根所述固定条固定连接；所述基片承载装置还包括支架组件，所述基片支撑组件和两根所述固定条均固定设置在所述支架组件上。优选地，所述支架组件包括多根连接柱和两块相对设置的固定侧板，多根所述连接柱的一端与一块固定侧板固定连接，多根所述连接柱的另一端与另一块所述固定侧板固定连接；所述基片支撑组件和所述基片固定组件均位于两块所述固定侧板之间，所述固定条与所述连接柱同向设置，且两根所述固定条分别设置在两根所述连接柱上。优选地，所述支架组件还包括两个支撑架，两个所述支撑架与两块所述固定侧板一一对应连接，所述支撑架上设置有提手。优选地，每根所述第一定位条的第一端与相应的所述第二定位条的第一端连接；所述第一定位条的第一端的高度低于所述第一定位条的第二端的高度，所述第二定位条的第一端的高度低于所述第二定位条的第二端的高度；或者，所述第一定位条的第一端的高度高于所述第一定位条的第二端的高度，所述第二定位条的第一端的高度高于所述第二定位条的第二端的高度。优选地，所述基片支撑组件包括多根基片支撑杆，所述基片支撑杆的延伸方向与所述定位间隔的延伸方向垂直，所述基片支撑杆上形成有多个基片卡槽，多个所述基片卡槽的位置与多个定位间隔的位置一一对应，当基片穿过所述定位间隔时，所述基片的底部能够插入与所述定位间隔对应的所述基片卡槽中。优选地，所述基片卡槽的侧壁包括导向段和定位段，所述定位段位于所述基片卡槽的底部，其中，所述基片卡槽在所述导向段沿远离所述基片支撑杆方向开口逐渐增大，所述基片卡槽在所述定位段的侧壁相互平行，且所述基片卡槽在所述定位段的宽度与所述定位间隔的宽度相匹配。作为本专利技术的第二个方面，提供一种清洗设备，包括清洗槽和位于所述清洗槽内的基片承载装置，所述基片承载装置用于装载基片，其中，所述基片承载装置为前面所述的基片承载装置。在本专利技术提供的基片承载装置和清洗设备中，基片支撑组件能够在定位间隔下方托举基片，基片固定组件能够通过定位间隔保持基片的放置角度。通过定位间隔的侧面贴扶功能与基片支撑组件的底部托举功能共同实现承载基片，每个定位间隔中均可以承载不同规格尺寸的基片，从而使得该基片承载装置能够同时承载多种不同规格尺寸的基片，提高了在机台之间转移基片的效率。附图说明附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1是本专利技术实施例提供的基片承载装置的结构示意图；图2是图1所示基片承载装置的剖面图；图3是图1所示基片承载装置的俯视图；图4是本专利技术实施例提供的基片承载装置中基片固定机构的结构示意图；图5是图4所示基片固定机构中固定件的结构示意图；图6是本专利技术另一实施例提供的基片承载装置的结构示意图；图7是图6所示基片承载装置的剖面图；图8是图7中基片支撑杆的A-A向截面示意图。附图标记说明10：基片固定组件11：第一定位条12：第二定位条13：基片固定机构131：固定螺钉132：固定件133：开口槽14：固定条15：连接条16：定位间隔20：基片支撑组件21：基片支撑杆22：导向段23：定位段30：支架组件31：固定侧板32：支撑架33：连接柱34：提手50：第一固定块51：紧定通孔60：第二固定块61：螺纹通孔70：连接部具体实施方式以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。在实际生产中，待清洗的基片往往存在多种不同的规格尺寸(如，外径不同、厚度不同等情况)，然而现有的基片承载装置通常仅能够用于在同一步工序中承载同一规格的基片，在清洗不同规格的基片时，需要对基片进行分类分批清洗，不仅浪费了大量的装卸时间，也提高了基片的清洗成本。为解决上述技术问题，作为本专利技术的一个方面，提供一种基片承载装置，如图1至图3、图6至图7所示，该基片承载装置包括基片固定组件10和基片支撑组件20，基片固定组件10包括间隔设置的多个定位部，任意相邻两个定位部之间具有定位间隔16，定位间隔16用于插入基片。基片支撑组件20位于基片固定组件10下方，基片支撑组件20用于在基片1插入定位间隔16时，由基片下方托住基片。在本专利技术实施例中，基片支撑组件20能够在定位间隔16下方托举基片1，基片固定组件10能够通过定位间隔16保持基片1的放置角度。本专利技术提供的基片承载装置通过定位间隔16的侧面贴扶功能与基片支撑组件20的底部托举功能共同实现承载基片，每个定位间隔16中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基片承载装置，其特征在于，所述基片承载装置包括基片固定组件和基片支撑组件，所述基片固定组件包括间隔设置的多个定位部，任意相邻两个所述定位部之间具有定位间隔，所述定位间隔用于插入基片；/n所述基片支撑组件位于所述基片固定组件下方，所述基片支撑组件用于在所述基片插入所述定位间隔时，托住所述基片。/n

【技术特征摘要】
1.一种基片承载装置，其特征在于，所述基片承载装置包括基片固定组件和基片支撑组件，所述基片固定组件包括间隔设置的多个定位部，任意相邻两个所述定位部之间具有定位间隔，所述定位间隔用于插入基片；
所述基片支撑组件位于所述基片固定组件下方，所述基片支撑组件用于在所述基片插入所述定位间隔时，托住所述基片。


2.根据权利要求1所述的基片承载装置，其特征在于，每个所述定位部均包括相互连接的第一定位条和第二定位条，且每根所述第一定位条均沿第一方向延伸，每根所述第二定位条均沿第二方向延伸，所述第一方向与所述第二方向不同；
任意相邻两根所述第一定位条之间形成有第一间隔、任意相邻两根所述第二定位条之间形成有第二间隔，多个所述第一间隔与多个所述第二间隔一一对应连通并形成为多个所述定位间隔。


3.根据权利要求2所述的基片承载装置，其特征在于，所述基片固定组件还包括多对基片固定机构，每对所述基片固定机构分别设置在相互连通的所述第一间隔和所述第二间隔中，且所述基片固定机构能够沿所述定位间隔运动，所述基片固定机构用于固定所述基片。


4.根据权利要求3所述的基片承载装置，其特征在于，所述基片固定机构包括固定件和固定螺钉，所述固定件包括相互连接的第一固定块和第二固定块，所述第一固定块上形成有开口槽和紧定通孔，所述第二固定块上形成有螺纹通孔，所述第一固定块和所述第二固定块分别位于所述定位间隔所对应的定位条的上侧和下侧，所述固定螺钉依次穿过所述紧定通孔和所述螺纹通孔，且所述固定螺钉的螺纹段与所述螺纹通孔配合，所述开口槽用于卡住所述基片。


5.根据权利要求2所述的基片承载装置，其特征在于，每根所述第一定位条的第一端与相应的所述第二定位条的第一端连接，所述基片固定组件还包括两根固定条，多根所述第一定位条的第二端均与其中一根所述固定条固定连接，多根所述第二定位条的第二端均与另一根所述固定条固定连接；
所述基片承载装置还包括支架组件，所述基片支撑组件和两根所述固定条均固定设置在所述支架组件上。

【专利技术属性】
技术研发人员：李广义，边宝孝，赵宏宇，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11