碲镉汞材料组分分布显示方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种ＨｇＣｄＴｅ组分分布显示方法和装置，采用扫描单色仪分光，分束片分束，与参考光路比较及红外热象仪成像方法，经过计算机处理给出组分分布。该仪器可以直接描画出材料不同区域的组分，并在数量上给出不同区域的组分平均值；也可以直接给出材料等组分分布图及相应的组分值。本发明专利技术可用于判断材料质量和选择制备红外探测器的材料，对ＨｇＣｄＴｅ材料研究及器件研制有很大的实用价值。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及利用光学手段，即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分折材料，特别是一种用于检测碲镉汞(HgCdTe)材料(包括外延薄膜材料)组分均匀性的HgCdTe组分分布显示方法和装置。为了测量HgCdTe材料组分均匀性，一般采用小光点红外透射方法对材料上逐点测量红外透射谱，然后取1/2最大透过率为标准，根据公式计算得到相应的组分值；将各点的位置与组分值描绘成图，便得到材料的组分分布。这方法要求对材料不同点进行红外透射测量，比较麻烦。褚君浩等曾提出一个测量HgCdTe组分均匀性的方法，它的物理思想是通过拟合材料大光斑透射光谱获得此光斑内的组分分布。该方法可以给出光斑内的组分分布及偏差。但是，这种方法还不能给出材料各点的组分实际值，因此需要在此基础上发展一种新的、简便方法，以便能直接给出HgCdTe材料各点组分值。本专利技术的目的在于提供一种能直接给出HgCdTe材料组分均匀性的显示方法和装置，可以直接描画出材料不同区域的组分分布，并在数量上给出不同区域的组分平均值；也可以直接给出材料等组分分布图及相应的组分值。本专利技术的目的通过如下技术方案达到由红外光源发出光，经过单色仪分光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种碲镉汞材料组分分布显示方法，包括红外光单色分光，半透半反分束和参考光路信号比较，其特征在于由红外光源发出光，经过单色仪分光，通过半透半反分束，一路为参考光路，其信号经接收和模数转换后送入计算机；另一路在样品中按不同组分吸收规律经过选择性透过，被接收成像，经计算机处理给出组分分布图形及定量值。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：裙君浩，刘坤，李标，汤定元，周起勃，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]