一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置，包括安装板和上盖板，所述上盖板位于安装板正上方，所述安装板和上盖板表面均开设有纵向滑槽和横向滑槽，所述横向滑槽位于纵向滑槽一端，且纵向滑槽和横向滑槽之间相互连通，所述安装板和上盖板两侧均开设有插扣槽，所述插扣槽内均插扣安装有封隔板，所述纵向滑槽内滑动安装有滑扣，所述滑扣表面焊接有安装架，本实用新型专利技术通过安装板底端卡扣安装的罩壳，可对等离子体刻蚀机的射频电源匹配器进行防护与信号屏蔽，通过安装架两侧表面螺栓安装的风琴板，便利于利用风琴板舒展性填补封隔板之间的间隙，从而起到提高屏蔽效果的功能。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置
本技术涉及领域，具体为一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置。
技术介绍
等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。下电极的射频源使用高频功率电源作为激励电源，容易产生射频辐射，对传感器信号和电路信号产生干扰，且容易出现人身安全隐。但是，现有的下电极屏蔽装置存在以下缺点：1、现有的下电极屏蔽装置，屏蔽不完善，屏蔽效果较差。2、现有的下电极屏蔽装置，在安装拆卸时十分不便。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置，以解决上述
技术介绍
中现有的下电极屏蔽装置，屏蔽不完善，屏蔽效果较差，现有的下电极屏蔽装置，在安装拆卸时十分不便的问题。r>为实现上述目的，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置，包括安装板(1)和上盖板(2)，所述上盖板(2)位于安装板(1)正上方，其特征在于：所述安装板(1)和上盖板(2)表面均开设有纵向滑槽(4)和横向滑槽(5)，所述横向滑槽(5)位于纵向滑槽(4)一端，且纵向滑槽(4)和横向滑槽(5)之间相互连通，所述安装板(1)和上盖板(2)两侧均开设有插扣槽(6)，所述插扣槽(6)内均插扣安装有封隔板(17)，所述纵向滑槽(4)内滑动安装有滑扣(7)，所述滑扣(7)表面焊接有安装架(8)。/n

【技术特征摘要】
1.一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置，包括安装板(1)和上盖板(2)，所述上盖板(2)位于安装板(1)正上方，其特征在于：所述安装板(1)和上盖板(2)表面均开设有纵向滑槽(4)和横向滑槽(5)，所述横向滑槽(5)位于纵向滑槽(4)一端，且纵向滑槽(4)和横向滑槽(5)之间相互连通，所述安装板(1)和上盖板(2)两侧均开设有插扣槽(6)，所述插扣槽(6)内均插扣安装有封隔板(17)，所述纵向滑槽(4)内滑动安装有滑扣(7)，所述滑扣(7)表面焊接有安装架(8)。


2.根据权利要求1所述的一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置，其特征在于：所述安装架(8)两侧表面均螺栓安装有风琴板(9)，所述风琴板(9)一端镶嵌有插扣条(10)，所述插扣条(10)插扣于封隔板(17)内。


3.根据权利要求1所述的一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置，其特征在于：所述安装板(1)和上盖板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖海涛，王斌，
申请(专利权)人：无锡市邑勉微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32