一种等离子刻蚀机夹具基座制造技术

本实用新型专利技术公开了一种等离子刻蚀机夹具基座，属于等离子刻蚀机配件技术领域，包括支撑板，所述支撑板两侧壁底端位置一体成型有凸台，所述凸台表面对称开设有螺纹孔，所述支撑板两侧壁靠近顶端位置固定连接有连杆，所述连杆自由端固定连接有手柄，所述支撑板上表面中间位置开设有凹槽，所述凹槽左右两侧均设有装配槽，所述凹槽前后两侧对称开设有滑槽，所述支撑板下表面中间位置开设有卡槽，所述支撑板下表面对称开设有定位槽。本实用新型专利技术支撑板上表面的凹槽、装配槽和滑槽，分别可以安装不同种类的夹具，适用性广泛，支撑板下表面的卡槽、定位槽和通孔，便于采用不同的方式对支撑板安装固定，操作简单，省时省力。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子刻蚀机夹具基座
本技术涉及等离子刻蚀机配件
，尤其涉及一种等离子刻蚀机夹具基座。
技术介绍
等离子刻蚀机又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。夹具是指机械制造过程中用来固定加工对象，使之占有正确的位置，以接受施工或检测的装置，又称卡具(qiǎjǜ)。从广义上说，在工艺过程中的任何工序，用来迅速、方便、安全地安装工件的装置，都可称为夹具。夹具通常由定位元件(确定工件在夹具中的正本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子刻蚀机夹具基座，其特征在于，包括支撑板(1)，所述支撑板(1)两侧壁底端位置一体成型有凸台(2)，所述凸台(2)表面对称开设有螺纹孔(201)，所述支撑板(1)两侧壁靠近顶端位置固定连接有连杆(8)，所述连杆(8)自由端固定连接有手柄(801)，所述支撑板(1)上表面中间位置开设有凹槽(7)，所述凹槽(7)左右两侧均设有装配槽(6)，所述凹槽(7)前后两侧对称开设有滑槽(9)，所述支撑板(1)下表面中间位置开设有卡槽(3)，所述支撑板(1)下表面对称开设有定位槽(4)，所述支撑板(1)正面对称开设有通孔(5)，所述通孔(5)贯穿支撑板(1)的正面和背面。/n

【技术特征摘要】
1.一种等离子刻蚀机夹具基座，其特征在于，包括支撑板(1)，所述支撑板(1)两侧壁底端位置一体成型有凸台(2)，所述凸台(2)表面对称开设有螺纹孔(201)，所述支撑板(1)两侧壁靠近顶端位置固定连接有连杆(8)，所述连杆(8)自由端固定连接有手柄(801)，所述支撑板(1)上表面中间位置开设有凹槽(7)，所述凹槽(7)左右两侧均设有装配槽(6)，所述凹槽(7)前后两侧对称开设有滑槽(9)，所述支撑板(1)下表面中间位置开设有卡槽(3)，所述支撑板(1)下表面对称开设有定位槽(4)，所述支撑板(1)正面对称开设有通孔(5)，所述通孔(5)贯穿支撑板(1)的正面和背面。


2.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机夹具基座，其特征在于，所述凸台(2)具体为两个，单个所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖海涛，吕军，
申请(专利权)人：无锡市邑勉微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32