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本实用新型公开了一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置，包括安装板和上盖板，所述上盖板位于安装板正上方，所述安装板和上盖板表面均开设有纵向滑槽和横向滑槽，所述横向滑槽位于纵向滑槽一端，且纵向滑槽和横向滑槽之间相互连通，所述安装板和上盖板两侧均开...
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