新型微尖端面阵列器件制造技术

本发明专利技术涉及扫描隧道显微镜技术领域，特别是一种新型微尖端面阵列器件。由夹持框架（１）、支撑膜（２）、悬臂梁（３）微尖端（７）四个部分组成。夹持框架（１）用于夹持整个器件使之与外部系统结合并为整个器件结构提供保护；支撑膜（２）用于支撑悬臂梁结构与导线（４）和内焊盘（５）；悬臂梁（３）单元采用顺序平铺的方式构成平面阵列；微尖端（６）由金属电镀生成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及扫描隧道显微镜
，特别是一种新型微尖端面阵列器件。
技术介绍
从1982年IBM公司的G.Bining等人专利技术隧道显微镜(STM)以来，衍生出的原子力显微镜(AFM)、扫描探针显微镜(SPM)等，已在物理、化学、电子、材料、医药等众多领域得到了广泛的应用，成为人们研究微观世界的强有力的工具。在此基础上，国外已经涌现出各种新型的悬臂梁微尖端器件，目前已经被应用于高密度数据存取、材料表面超微加工、材料表面探知、传感器等诸多方面。 已有专利微尖端线列器件申请号200510011987.8。其结构如图5，这种结构的阵列微尖端器件由于其夹持端(9)厚度大于微尖端的高度，即此器件无法自由加工材料的表面，只能加工在其悬臂梁所能到达的材料边缘部分。而且这种结构器件的悬臂梁完全暴露，容易损坏。 与这种结构相比，本专利技术介绍的这种面阵列器件具有效率更高、可以自由加工材料表面不受边界限制、悬臂梁受到石英玻璃材料的夹持框架的保护不易损坏等优点。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提出一种基于MEMS加工方法制备的一种面阵列氮化硅悬臂梁支撑的金属微尖端器件。此器件的目的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微尖端面阵列器件，由夹持框架（１）、支撑膜（２）、悬臂梁（３）微尖端（７）四个部分组成，夹持框架（１）用于夹持整个器件使之与外部系统结合并为整个器件结构提供保护，其上拥有外焊盘（８），外焊盘（８）用于与外围电路相连，支撑膜（２）用于支撑悬臂梁结构与导线（４）和内焊盘（５），内焊盘（５）与外焊盘（８）之间依靠引线键合工艺通过金线（７）连接，悬臂梁（３）单元采用顺序平铺的方式构成平面阵列，微尖端（６）由金属电镀生成。

【技术特征摘要】
1.一种微尖端面阵列器件，由夹持框架(1)、支撑膜(2)、悬臂梁(3)微尖端(7)四个部分组成，夹持框架(1)用于夹持整个器件使之与外部系统结合并为整个器件结构提供保护，其上拥有外焊盘(8)，外焊盘(8)用于与外围电路相连，支撑膜(2)用于支撑悬臂梁结构与导线(4)和内焊盘(5)，内焊盘(5)与外焊盘(8)之间依靠引线键合工艺通过金线(7)连接，悬臂梁(3)单元采用顺序平铺的方式构成平面阵列，微尖端(6)由金属电镀生成。2.根据权利要求1的微尖端面阵列器件，其特征在于，夹持框架(1)，材料为石英玻璃，尺寸为3×2厘米、顶壁厚0.3厘米、侧壁厚0.5厘米、顶壁上有0.5×1厘米的引线窗口。3.根据权利要求1的微尖端面阵列器件，其特征在于，外焊盘(8)，由3×1毫米、厚100埃的金膜构成。4.根据权利要求1的微尖端面阵列器件，其特征在于，支撑膜(2)，厚2微米...

【专利技术属性】
技术研发人员：焦斌斌，陈大鹏，欧毅，叶甜春，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]